UHV式光柵
特性
- 由真空兼容材料和粘合劑制成,出氣率低
- 殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗(yàn)證不會(huì)污染真空環(huán)境
- 120 °C烘焙溫度
- 非接觸開放式光學(xué)系統(tǒng)提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零
- 無氣密孔
- 高精度直線光柵和圓光柵系列
真正意義的位置測(cè)量
RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線柵尺和圓光柵配用,實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量。該光柵在通電后無需任何移動(dòng)便可立即獲取位置信息。
高速和高分辨率
RESOLUTE光柵結(jié)合了的光學(xué)系統(tǒng)與創(chuàng)新的位置確定算法,能夠以達(dá)到1 nm的精細(xì)分辨率和高達(dá)100 m/s (36,000 rpm) 的速度實(shí)現(xiàn)位置測(cè)量。
優(yōu)異的測(cè)量性能
RESOLUTE光柵系統(tǒng)可測(cè)量位置,其具有±40 nm的低電子細(xì)分誤差 (SDE) 和小于10 nm RMS的超低噪聲(抖動(dòng)),能夠?qū)崿F(xiàn)平穩(wěn)的速度控制性能和可靠的位置穩(wěn)定性。
柵尺選項(xiàng)
直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
圓光柵用于提供角度位置信息以及對(duì)旋轉(zhuǎn)元件進(jìn)行運(yùn)動(dòng)控制。
圓弧柵尺可卷繞在圓柱體、軸或圓弧上,用于測(cè)量旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的圓弧。
帶碼道選項(xiàng)的不銹鋼鋼帶
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
配有可選FASTRACK™的RTLA30 | ±5 µm/m | 30 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 達(dá)21 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
細(xì)窄型不銹鋼鋼帶柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RKLA-S | ±5 μm/m | 30 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后,柵尺的伸縮將與基體材料保持一致 | 達(dá)21 m | RESOLUTE |
ZeroMet™直線硬柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RELA30 | 1 m內(nèi)為±1 µm,1 m以上為±1 µm/m | 30 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 達(dá)1.5 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
不銹鋼直線硬柵尺
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RSLA30 | 1 m內(nèi)為±1.5 µm,2 m內(nèi)為±2.25 µm,3 m內(nèi)為±3 µm,5 m內(nèi)為±4 µm | 30 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 達(dá)5 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
細(xì)窄型不銹鋼圓弧鋼帶
柵尺名稱 | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數(shù) | 供應(yīng)長度 | 讀數(shù)頭兼容性 |
RKLA-S | ±5 μm/m | 30 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后,柵尺的伸縮將與基體材料保持一致 | 達(dá)21 m | RESOLUTE |
不銹鋼圓光柵
柵尺名稱 | 刻劃精度(取決于圓光柵直徑) | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭 兼容性 |
RESA30 | ±3.97至±0.38角秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至550 mm | RESOLUTE、 RESOLUTE UHV、 RESOLUTE ETR、 RESOLUTE FS |
超高精度不銹鋼圓光柵
柵尺名稱 | 安裝精度 (取決于圓柵直徑) | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數(shù) | 圓光柵直徑 | 讀數(shù)頭兼容性 |
REXA30 | (≥100 mm直徑) ±1角秒 ±1.5角秒 ±2角秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至417 mm | RESOLUTE、 RESOLUTE UHV、 RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS |