角錐反射鏡干涉儀適合長距離和高速應(yīng)用。
RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、的多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。
特性與優(yōu)點
多軸解決方案 — 單軸和雙軸角錐反射鏡系統(tǒng)為多軸應(yīng)用提供理想解決方案。
長距離和高速度 — 角錐反射鏡干涉儀發(fā)射頭適合具有更長距離和更高速度的應(yīng)用,此時平面鏡干涉儀可能不適用。
敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號,適合功耗要求低于標準RLD特定值(即 < 2 W)的應(yīng)用。
規(guī)格
軸行程 | 0 m至4 m |
分辨率(使用RLU配置) | 模擬正交 = λ/2 (316 nm) |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于100 mm/s且信號強度 > 70%時 <±5 nm 2 m/s且信號強度 > 50%時 <±13 nm |
速度 | 可達2 m/s |
對于長度超過4 m的軸,請查看HS20激光尺系統(tǒng),它支持長達60 m的軸。
對于非真空應(yīng)用,為了維持變動環(huán)境條件下的精度,需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實時正交補償系統(tǒng),用于對環(huán)境變化進行補償。雷尼紹供應(yīng)的角錐反射鏡可能不適于真空或接近真空的應(yīng)用。
RPI20并行接口集成到RLE系統(tǒng)中,可達到38.6皮米的分辨率(平面鏡配置)。對于具有數(shù)字輸出的增強分辨率,雷尼紹的REE系列細分盒能夠提供0.395 nm的分辨率(平面鏡配置)。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,并提供并行輸出格式。有關(guān)附件的詳細信息,請參見RCU10補償系統(tǒng)和激光尺接口。