智能型多功能橢偏儀儀器介紹
多功能性設(shè)計(jì),配置靈活,具備多角度測(cè)量能力,可方便實(shí)現(xiàn)在線與離線配置切換。是一款針對(duì)單層和多層薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)單,快速,精確表征和分析的工具。
智能型多功能橢偏儀技術(shù)參數(shù)
· 光譜范圍:450-1000nm
· 多種微光斑自動(dòng)選擇
· 光斑可視技術(shù),可觀測(cè)任何樣品表面
· CCD探測(cè)器
· 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸:200mmX200mm;XYZ方向
· 自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
主要特點(diǎn)
· 一鍵式操作,直接報(bào)告輸出
· 液晶調(diào)制技術(shù),測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件
· CCD 探測(cè)系統(tǒng),快速全譜輸出
· 多個(gè)微光斑尺寸選擇,可視技術(shù)
· 多角度測(cè)量
· 可實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量配置