研究級全自動橢偏儀儀器介紹:
UVISEL2是一款*革新的全自動光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經典機型UVISEL的高準確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術特點的同時,配備革新的可視系統(tǒng),多達8個尺寸微光斑選項,zui小達35×85μm2,適用于所有薄膜材料研究領域。是目前市場上*的機型。
研究級全自動橢偏儀技術參數(shù)
·光譜范圍:190-2100 nm
·8種光斑尺寸: zui小35 X 85 um
·探測器:3個獨立探測器,分別優(yōu)化紫外,可見和近紅外
·自動樣品臺尺寸:200mm X 200mm;XYZ方向自動調節(jié); Z軸高度>35mm
·樣品水平度自動調整
·自動量角器:變角范圍35°- 90°,全自動調整,zui小步長0.01°
主要特點
·*自動化設計,自動對焦、校正
·全新光路、電路設計,測量精度更高,速度更快
·50KHz高頻PEM相調制技術,測量光路中無運動部件
·雙光柵光譜儀系統(tǒng),雜散光抑制水平高
·8個尺寸微光斑,可視技術
·自動平臺樣品掃描成像