應(yīng)用特點
高精度光學(xué)材料的應(yīng)力雙折射測量
可通過自動拼接測量大口徑光學(xué)窗口
測量速度快，空間分辨率高
可以測量浸沒于折射率液中的大尺寸樣品
定制案例
主機(jī)口徑：?115 mm
單口徑測量時間：10 sec
空間分辨率：0.08 mm
被測樣品尺寸：500 mm x 600 mm
子孔徑測量次數(shù)：7 x 7 （max.)
拼接測量時間：< 15 min
常規(guī)屬性
設(shè)備形式：光軸水平設(shè)計
光源：單LED準(zhǔn)直光源，波長625±10 nm
負(fù)荷：500 kg（包括樣品臺）
探測器像素：1200 x 1000 pixels
通光口徑：89 mm x 74 mm ，單次測量時間<10 sec 可自動拼接測試
運動行程：水平方向：600 mm，垂直方向：500 mm
樣品尺寸：長：600 mm；寬：500 mm；厚：200 mm
樣品形狀：表面平行且拋光, 直接透過率>50% @610...640nm
系統(tǒng)性能
雙折射測量范圍：0-100 nm
空腔基線穩(wěn)定性（值的標(biāo)準(zhǔn)差）：≤0.05 nm
重復(fù)性：CaF2標(biāo)樣重復(fù)12次測量值的標(biāo)準(zhǔn)差 ≤0.05 nm
