產(chǎn)品介紹

AccuFiz D型是一種基于偏振光干涉原理的共光路菲索型動態(tài)干涉儀，采用短相干光源，相干長度約200微米；這使它既保持了菲索型的通常特點，又保持了動態(tài)干涉儀的特性，抗振動，對氣流擾動不敏感，并可用于一些特殊的測量需求，特別適合平行平板測量、材料均勻性測量、大口徑凸球面的直接測量等。

典型應(yīng)用

1. 遠(yuǎn)程空腔測量。 只要保證透射參考面（TF或TS）距樣品個反射面的光程小于2m, 即可進行測量；而無需擔(dān)心TF或TS離干涉儀本身的距離引起的振動與氣流問題。最典型的應(yīng)用，是大口徑凸球面或凸非球面的測量，例如JSWT次鏡的測量。

2. 平行平板的測量，可以直接測量厚度大于200µm的平行平板，不產(chǎn)生干擾條紋

3.均勻性的測量，可實現(xiàn)定位干涉，只需保證樣品平行度足夠好，就可以直接測量，對樣品面形精度沒有特殊要求。

4.平面元件應(yīng)力雙折射的測量

5.平面元件的等厚差的測量

6.作為主機，進行動態(tài)大口徑干涉儀自研

常規(guī)屬性

采集模式：采用相位相關(guān)探測器瞬時相移式

出光口徑：100mm，150mm，或其它定制尺寸

工作波段：636nm，相干長度200µm

相機像素：2K x 2K pexels，12bit

腔長：0-500 mm或0-2 m

外形尺寸：干涉儀： x x cm

光源： x x cm

干涉儀重量：

系統(tǒng)性能

樣品反射率：1-99%（需衰減）

RMS重復(fù)性： ()*

RMS精度：（）



*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均

采用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均；以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結(jié)果

配置選項

- 可選150mm 輸出口徑

- 可選4”TF 與RF平面標(biāo)準(zhǔn)鏡

- 可選4”TS (1/20 wv PVr) ： F/, F/, F/1, F/, F/, F/, F/, F/

- 可選6”TS （1/20 wv PVr）： F/, F/, F/, F/, F/, F/,

- 可選4”或6”樣品5維調(diào)整架