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愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH1800HTX 干式泵

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/5/19 7:44:09
  • 訪問次數(shù)214
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昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司是由一批長期服務(wù)于某外企的骨干精英組建而成,注冊資金100萬,自公司成立起一直致力于真空設(shè)備及配件的研究、生產(chǎn)、推廣、銷售、 安裝及維修領(lǐng)域。本公司經(jīng)過多年不懈的努力,已擁有一支專業(yè)的IT研發(fā) 人員和全面的銷售網(wǎng)絡(luò),所經(jīng)營的產(chǎn)品國內(nèi)外,現(xiàn)已與國內(nèi)外多家大型企業(yè)保持著長期的合作關(guān)系,本公司產(chǎn)品以質(zhì)量優(yōu)良、操作簡單、性價比高及周到的售后服務(wù)等廣受市場好評,使得公司的效益得到迅速發(fā)展,為公司的長遠(yuǎn)發(fā)展打下牢固的基礎(chǔ)。公司主要經(jīng)營:真空泵、直空泵油、真空計、檢漏儀、流量計、鍍膜機(jī)、真空零配件、鍍膜機(jī)耗材等,以及實驗室儀器,實驗室耗材和其他工控產(chǎn)品。產(chǎn)品廣泛適用于:電光源、真空鍍膜、機(jī)械、光盤、冶金、石油、化工、造紙、食品、醫(yī)藥、電子、電、陶瓷、玻璃、電路板、引水、印染、制糖、制冷設(shè)備、工藝吸塑、科研、干燥及汽車維修等單位。售后服務(wù):公司擁有專業(yè)的維修技術(shù)人員及*的檢測設(shè)備,并長期提供真空泵技術(shù)指導(dǎo)及修理、維護(hù)、保養(yǎng)、檢測、咨詢等服務(wù);服務(wù)承諾:凡在本公司所購真空設(shè)備,均享有一年免費保修期, 并終身提供技術(shù)支持。公司堅持“以誠為本、信營至上”為宗旨,不斷創(chuàng)新改進(jìn),完善售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。我們以秀的產(chǎn)品, *的質(zhì)量,惠的價格,質(zhì)的服務(wù),愿同各界朋友互相合作,開拓美好的未來。
iH高真空干泵愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH1800HTX干式泵我們的iH干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品)提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案
愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH1800HTX 干式泵 產(chǎn)品信息

iH 高真空干泵  愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH1800HTX 干式泵

我們的 iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵,使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨 設(shè)計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機(jī)械增壓泵和 封閉的水冷卻電機(jī)。

     

Standard_Body_Image_iH

應(yīng)用
功能與優(yōu)勢

概述

Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照Z高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時地減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。 
  
iH1800HTX 專為需要較高的工作溫度以避免制程氣體冷凝的工藝(如 300 mm LPCVD 氮化物)而設(shè)計。

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖

  • 輸送

  • 計量

  • 平版印刷

  • PVD 制程

  • PVD 預(yù)清潔

  • RTA

  • 剝離/灰化

  • 刻蝕

  • 植入源

  • HDP CVD

  • RTP

  • SACVD

  • MCVD

  • PECVD

  • LPCVD

  • ALD


有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議,請與 Edwards 聯(lián)系。
a - iH1800HTX 干式泵 460V,60 Hz,3 相

iH1800HTX 干式泵 460V,60 Hz,3 相

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a - iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

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a - iH1800HTX 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

iH1800HTX 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相

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a - iH1800HTX 干式泵 230V,60 Hz,3 相

iH1800HTX 干式泵 230V,60 Hz,3 相

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a - iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相

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功能和優(yōu)勢

  • 優(yōu)化了設(shè)施消耗。

  • 無需預(yù)防性維護(hù)。

  • 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。

  • 在節(jié)省電機(jī)功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。

  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

  • 整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度1800 m3h-1

1060 cfm

30000 l min-1
極限真空1 x 10-3 mbar

7.5 x 10-4 Torr

0.1 Pa
典型軸封氮流量4 slm
進(jìn)氣口連接ISO160
出口連接NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

4 l min-1
重量502 kg
極限功率輸入4.1 kW
電機(jī)額定功率7.0 kW
油容量1.6 l

  
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。


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