工作環(huán)境更好,環(huán)境影響低:
安靜運(yùn)轉(zhuǎn)操作簡單:
智能且易于使用控制無污染且不需要處理油:
采用密封結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了無潤滑劑真空環(huán)境低擁有 成本:
長維修間隔和低功耗更快的制程:
出色的蒸汽處理能力真空外殼中 不需要使用潤滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空, 防止交叉污染
無大氣壓到 真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能 以更低溫度運(yùn)行,使用時間更長
簡單的單側(cè) 滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計相結(jié)合,只需Z低程度的 特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù),因此可降低運(yùn)行成本, 盡可能延長正常運(yùn)行時間
改進(jìn)了電機(jī)和 傳動效率,可降低功耗和運(yùn)行成本
*的接口 提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn) 遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
一般清潔泵送
電子掃描顯微鏡 (SEM)
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機(jī)
概述
用途
一般清潔泵送應(yīng)用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
nXDS15i 100 - 127 V,200 - 240 V,1 相,50/60 Hz
A
特性與優(yōu)勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運(yùn)行,使用時間更長
簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計相結(jié)合,只需Z低程度的特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù),因此可降低運(yùn)行成本,盡可能延長正常運(yùn)行時間
改進(jìn)了電機(jī)和傳動效率,可降低功耗和運(yùn)行成本
*的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
技術(shù)數(shù)據(jù)
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 | 1800 rpm |
排量 | 17.1 m3h-1 / 10.1 ft3min-1 |
峰值抽速 | 15.1 m3h-1 / 8.9 ft3min-1 |
極限真空(總壓力) | 0.007 mbar / 0.005 Torr |
Z小待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 | 1200 rpm |
速度控制精度(以全速百分比表示) | 1% |
Z小轉(zhuǎn)速時的抽速 | 9.9 |
Z大連續(xù)進(jìn)氣口壓力 | 200 mbar |
電機(jī)功率(一相) | 300 W |
電源連接器(1 相) | IEC EN60320 C13 |
推薦保險絲 | 10A,250Vac rms |
重量 | 25.2 kg / 56 lb |
入口法蘭 | NW25 |
排氣口法蘭 | NW25 |
噪音級別 | 52 dB(A) |
入口法蘭處抗振性 | < 4.5 mms-1 (rms) |
密封性(靜態(tài)) | < 1x10-6 mbar ls-1 |
工作溫度范圍 | 10 至 40 °C / 41 至 104 °F |