愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iXL 高性能干式真空泵機(jī)組
iXL 系列干泵滿(mǎn)足 平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造市場(chǎng) 領(lǐng)域涉及的所有排氣要求。
這些性能的 泵旨在Z大限度地提高基板吞吐量,同時(shí)盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外,大修間隔期內(nèi)無(wú)須 維護(hù)。
適用于半導(dǎo)體和太陽(yáng)能應(yīng)用的小型 iXL 干泵
iXL120:緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它可 快速抽空負(fù)載鎖定艙室,能耗極低。可 用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的Z小且Z輕的泵之一。 其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的優(yōu)點(diǎn)使其適合于安裝在機(jī)臺(tái)上或 工廠的夾心層中,從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保 模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率,從而降低使用成本, 有助于保護(hù)環(huán)境。
的艙室抽空時(shí)間可減少 總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗 有助于減少客戶(hù)擁有成本
環(huán)保模式可以在空閑 期間Z多減少 92% 的功耗
Z高 35oC 的水 供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕, 有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于嚴(yán)苛應(yīng)用的大型 iXL 干泵
iXL1000:緊湊型低能量的干 泵,適用于輕負(fù)載應(yīng)用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗??捎糜谳p負(fù)載應(yīng)用(如晶圓加工、PVD 和 計(jì)量)的Z小且Z安靜的泵之一。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建,具有高抽取速度和 低能耗特性。通過(guò)環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備 使用率,從而降低成本并幫助保護(hù)環(huán)境。
的艙室 抽空時(shí)間可減少總體平均循環(huán)時(shí)間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功 耗有助于減少客戶(hù)擁有成本
環(huán)保模式可以在 空閑期間Z多減少 92% 的功耗
Z高 35oC 的水供給有助于 降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極 輕,有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于 Applied Materials 制程平臺(tái)的 IPUP
IPUP2:緊湊型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它能夠 以低能耗快速抽空負(fù)載鎖定艙室。
IPUP2 小巧輕便,適用于負(fù)載鎖定 和清潔應(yīng)用。其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的優(yōu)點(diǎn)使其適合于 在機(jī)臺(tái)上使用或安裝在工廠的夾心層中,從而有助于節(jié)省寶貴的 工廠地面空間,同時(shí)Z大程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在 空閑期間降低設(shè)備使用率,從而降低使用成本, 有助于保護(hù)環(huán)境。
適合在 Applied Materials 的制程平臺(tái)上使用, 可提高處理能力,同時(shí)減少能耗。