ulvac-kiko濺射設(shè)備 主泵 油霧捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
ulvac-kiko濺射設(shè)備 主泵 油霧捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
將架臺上的油擴(kuò)散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計(jì)，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。
特點(diǎn)
玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
更改為EB規(guī)格，可成膜高熔點(diǎn)的材料。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的安全性。
規(guī)格
| 型式 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa臺/10min（液體氮?dú)馐褂脮r） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ390mm×高350mm) |
| 饋通圈 | 20端口(側(cè)面14/底面6) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸 | □50mm ? □220mm（Max） | |
| 電源系統(tǒng) | 蒸發(fā)電極構(gòu)成 | 3點(diǎn)式 |
| 蒸發(fā)電源?數(shù)量 | SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統(tǒng) | 主泵 | 油擴(kuò)散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液體氮?dú)獠都?/span> | 有 | |
| 補(bǔ)助泵 | 油回轉(zhuǎn)泵 200L/min、2臺 | |
| 油霧捕集器 | 選項(xiàng) | |
| 操作系統(tǒng) | 主閥 | 蝶閥 |
| 補(bǔ)助閥 | 三通閥 | |
| 自動泄露閥 | 選項(xiàng) | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統(tǒng) | 皮拉尼真空計(jì) | GP-1G |
| 電離真空計(jì) | 選項(xiàng) | |
| 設(shè)置 | 最大尺寸 本體 | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 電源 | 設(shè)備本體收納 | |
