ulvac-kiko皮拉尼真空計 傳感器型 離子濺射儀SW1-1
ulvac-kiko皮拉尼真空計 傳感器型 離子濺射儀SW1-1
抗沖擊性提高：具有高抗沖擊性的結構設計
優(yōu)異的大氣壓精度：無論真空計的安裝位置如何，精度均在±20％以內(nèi)
燈絲材料·鉑（Pt）：由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高：配備可確認異常的LED
一觸式調(diào)整：一鍵式即可進行大氣壓力調(diào)整和零點調(diào)整
維護：更換測定子更輕松
適用測定子擴展：除了NW16 / 25規(guī)格外，還將Φ15/ 18規(guī)格，拼接法蘭規(guī)格和錐形螺絲R1 / 8規(guī)格添加到產(chǎn)品陣容中
用途
太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備
用于設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)
皮拉尼真空計，可以測量從大氣壓到5×10-2Pa的廣泛的壓力范圍
該真空計從傳統(tǒng)的控制器（傳感器單元）中除去操作·顯示部，最大限度凝縮精簡功能，使「降成本」和「省空間」成為可能。
抗沖擊性提高：具有高抗沖擊性的結構設計
優(yōu)異的大氣壓精度：無論真空計的安裝位置如何，精度均在±20％以內(nèi)
燈絲材料·鉑（Pt）：由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高：配備可確認異常的LED
一觸式調(diào)整：一鍵式即可進行大氣壓力調(diào)整和零點調(diào)整
維護：更換測定子更輕松
適用測定子擴展：除了NW16 / 25規(guī)格外，還將Φ15/ 18規(guī)格，拼接法蘭規(guī)格和錐形螺絲R1 / 8規(guī)格添加到產(chǎn)品陣容中
用途
太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備
用于設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)
皮拉尼真空計，可以測量從大氣壓到5×10-2Pa的廣泛的壓力范圍
該真空計從傳統(tǒng)的控制器（傳感器單元）中除去操作·顯示部，最大限度凝縮精簡功能，使「降成本」和「省空間」成為可能。
