布里奇曼晶體生長(zhǎng)爐 - BV-HTRV是根據(jù)布里奇曼方法用于晶體生長(zhǎng)的管式爐。
布里奇曼方法是用預(yù)合成材料緩慢地下降,通過(guò)一個(gè)具有溫度梯度的區(qū)間。被熔化的材料通過(guò)一個(gè)較低的溫度梯度區(qū)間,形成單晶。BV-HTRV管式爐裝有用于布里奇曼方法的特殊設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào),如HTRV 70-250或HTRV 100-250的工作管裝有一個(gè)升降裝置上,需要注意的是,所有的管式爐都可以裝這個(gè)裝置。見的有兩種爐型,HTRV 70-250和HTRV 100-250。
優(yōu)勢(shì)在于加熱區(qū)短,根據(jù)布里奇曼方法,可獲得較理想的溫度梯度。溫度向管式爐底部遞減。拉伸結(jié)構(gòu)向著低溫區(qū)的位移速度可調(diào)。樣品熱電偶緊靠著樣品,能精確了解樣品的溫度。樣品和控溫?zé)犭娕及惭b在升降裝置底部。裝載和卸載時(shí),機(jī)構(gòu)可快速反應(yīng)?;蛘吒鶕?jù)用戶的晶體生長(zhǎng)速度移動(dòng)。
樣品熱電偶和控溫?zé)犭娕荚谔沾晒ぷ鞴芨浇?。工作管兩端是水冷法蘭。工作管上面的法蘭是固定的,底部的螺紋管,連接著工作管和升降裝置。當(dāng)樣品向下移動(dòng)時(shí),螺紋管開始延伸。即使在真空下,樣品也可以向下移動(dòng)。
工作管頂部是連接著真空泵。真空閥門可手動(dòng)開關(guān)。真空度由壓電陶瓷真空計(jì)控制。惰性氣體流量由轉(zhuǎn)子流速計(jì)手動(dòng)控制。為了在工藝開始前降低氧含量,需要進(jìn)行反復(fù)多次的預(yù)抽真空和惰性氣體沖刷。
該系統(tǒng)可以連接計(jì)算機(jī),可記錄運(yùn)行時(shí)的所有數(shù)據(jù)。如,樣品位置、熱電偶溫度。裝載和卸載樣品時(shí),夾具必須打開。機(jī)構(gòu)可現(xiàn)實(shí)快速移動(dòng),樣品方便拿取。升降裝置用于布里奇曼晶體生長(zhǎng),同時(shí)可結(jié)合不同的單區(qū)或多區(qū)控溫管式爐。
標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)
布里奇曼方法—晶體生長(zhǎng)
真空環(huán)境工作溫度1450 °C
惰性氣氛環(huán)境工作溫度1800 °C
拉伸機(jī)構(gòu)精度高
手動(dòng)操作
可選數(shù)據(jù)記錄功能
技術(shù)參數(shù)
布里奇曼晶體生長(zhǎng)爐的加熱元件是二硅化鉬,垂直安裝。矩形爐殼內(nèi)的保溫材料為真空成型的纖維板。爐殼上還有用于同外部對(duì)流冷卻的孔??紤]到樣品的熔點(diǎn),爐子的溫度有 1600 °C、1700 °C、1800 °C。升降裝置的兩個(gè)馬達(dá),可實(shí)現(xiàn)不同的齒輪比。如:可達(dá)到約10 mm/s的移動(dòng)速度;鑒于布里奇曼生長(zhǎng)工藝,拉伸速度僅為0.00001 mm/s (10 nm/s)。
水冷法蘭的水管都套在護(hù)套內(nèi)。控溫?zé)犭娕夹吞?hào)為B型。可根據(jù)要求選配過(guò)溫保護(hù)器。推薦安裝過(guò)溫保護(hù)器,因?yàn)榫w生長(zhǎng)工藝時(shí)間長(zhǎng),多數(shù)處于無(wú)人看守的狀態(tài)。如果布里奇曼晶體生長(zhǎng)所需的溫度要高于1800℃,Carbolite Gero可提供合適的解決方案。
BV-HTRV 70-250
Tmax (°C) | 1600, 1700, 1800 |
Max. outer diameter accessory tube (mm) | 100 |
加熱長(zhǎng)度 (mm) | 250 |
外部尺寸H x W x d(mm) | 1800 x 950 x 750 |
重量(KG) | 300 |
控制柜尺寸H x W x d(mm) | 850 x 560 x 600 |
控制柜重量(KG) | 60 |
功率 (kW) | 6.5 |
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