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規(guī)格參數(shù):
儀器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習慣;
應用CMOS代替CCD,省去圖象卡并提高了質量;
用低壓電源代替高壓電源,節(jié)省了儀器成本;
用國產(chǎn)的代替德國進口壓電陶瓷,解決了關鍵部件的進口難題;
增加了自動步距和亮度校正程序,同時增加了局部放大三維立體圖功能;
表面微觀不平深度測量范圍:130?1nm
測量的重復性:sRa≤0.5nm
測量精度:8nm
物鏡倍率:40X
數(shù)值孔徑:0.65
儀器視場目視:f0.25mm
攝象:0.13X0.13mm
儀器放大倍數(shù)目視:500X
攝象(計算機屏幕觀察):2500X
接收器測量列陣:1000X1000
象素尺寸:5.2X5.2nm
描述:
光電輪廓儀的應用范圍很廣,它主要用于測量各種精密加工零件表面的微觀三維結構,如表面粗糙度;零件表面的刻線;刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說,如量塊、光學零件表面的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。由于儀器測量精度高,重復性好,具有非接觸和三維測量等特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果,本儀器適用于各級測試、計量研究單位,工礦企業(yè)計量室,精密加工車間和高等院校及科學研究單位等。
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