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EMS 150膜厚監(jiān)控儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號EMS 150

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式:楊陽查看聯(lián)系方式

更新時間:2015-06-26 02:13:10瀏覽次數(shù):587次

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經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:156條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:楊陽 (主管)

產(chǎn)品簡介

EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用,以便對膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。

詳細(xì)介紹

  EMS 150 膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發(fā)鍍膜儀配套使用,以便對膜厚進(jìn)行監(jiān)控。提供內(nèi)置模塊和外接裝置。

    石英是離子型的晶體,當(dāng)發(fā)生拉伸或壓縮時能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,稱為壓電,這是因為其結(jié)晶點陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸,切割類型,而且還取決于芯片的厚度。當(dāng)芯片上鍍了某種膜層后,芯片的厚度增大,則芯片的固有頻率會相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。
    膜厚監(jiān)控儀(FTM)是如何工作的呢?鍍膜時,膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動,測試每秒鐘振動次數(shù)的改變,從所接受的數(shù)據(jù)中計算膜層的厚度。
 
儀器參數(shù):
 
儀器尺寸
300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H)
重量
6Kg
可配套儀器
EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650,
EMS 675, EMS 950, and the EMS 975
晶片座
置晶片裝置
密度范圍
1.55 to 23.0g/cm-3
測控范圍
5 to 999nm
鍍碳時精度
0.8nm
鍍金時精度
0.1nm
電源
230V 50 Hz (3 Amp Max)
 
訂購信息:
 
貨號
產(chǎn)品名稱
規(guī)格
91006
EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone.
91006-M
EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module
91008
Spare Crystals
91009
Spare Glass Cylinder
 

 

關(guān)鍵詞:離子濺射儀 芯片

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