超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺(tái)主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面可升溫到400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

詳細(xì)介紹

主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測試。測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面可升溫到400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺(tái)設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)<5Pa分子泵可達(dá)<-3Pa。真空信號(hào)連接處使用高級(jí)真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺(tái)面，探針處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測試儀器來測試電學(xué)信號(hào)。

超低溫真空半導(dǎo)體制冷臺(tái)技術(shù)參數(shù)
加熱溫度	35-350℃
溫控誤差	±1℃
熱電偶類型	PT100高精度傳感器
溫控表	宇電溫控器
程序控溫	1段（可選30段程序控溫表）
加熱功率	≤300W
加熱電源	AC220v
尺寸	230x230x125MM
重量	6kg
真空探針熱臺(tái)
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
加工方式	一體式CNC精加工
內(nèi)腔體尺寸	137X57X21mm 容積165ML
加熱臺(tái)尺寸	Φ30mm
觀察窗內(nèi)徑	Φ46mm
觀察窗材質(zhì)	高透光石英玻璃
加熱溫度	400℃ 注意：熱臺(tái)溫度和樣品溫度存在偏差客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺(tái)面測量熱電阻值對(duì)應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。
信號(hào)輸出頭	SMA母頭配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 500V
抽氣口	KF16
進(jìn)氣口	6MM卡套
使用正壓	≤O.05MPa
使用負(fù)壓	機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
觀察窗內(nèi)徑	φ45
移動(dòng)探針
探針規(guī)格	探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
上下移動(dòng)距離	2mm
前后移動(dòng)距離	20mm
左右旋轉(zhuǎn)距離	120°