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TESCAN S9000X FIB-SEM雙束電鏡

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式:李經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-01-05 16:43:29瀏覽次數(shù):173次

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經(jīng)營模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:44條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:李經(jīng)理 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

TESCAN S9000X FIB-SEM雙束電鏡 大尺寸試樣進行高效率制備和高分辨表征的解決方案

詳細介紹

TESCAN S9000X 是半導(dǎo)體和材料表征中具挑戰(zhàn)性的物理失效分析應(yīng)用的平臺,具有*的精度和*的效率。 TESCAN S9000X 提供了納米尺寸結(jié)構(gòu)分析所必需的高分辨率和表面靈敏度,為大體積 3D 樣品特性分析提供了很好條件。同時,它還提供的 FIB 功能,可實現(xiàn)精確、無損的超大面積加工,包括封裝技術(shù)和光電器件的橫截面加工。

當(dāng)今半導(dǎo)體器件的物理故障分析已經(jīng)成為一項極其復(fù)雜的任務(wù),需要處理越來越小的具有更高密度和更高功能的器件。一般來說,隨著新納米技術(shù)和納米材料的發(fā)展以及集成電路的設(shè)計和體系結(jié)構(gòu)的日益復(fù)雜,這就需要高度可靠的分析平臺,以跟上集成電路、光電器件的發(fā)展。TESCAN S9000X 是一個強大的 FIB-SEM 平臺,專門設(shè)計來應(yīng)對這樣的挑戰(zhàn)。新一代 Triglav™ 鏡筒的探測器系統(tǒng)具有優(yōu)異的表面靈敏度和出色的對比度;另一方面,新的 iFIB+™ 離子鏡筒進一步的擴大了 Xe 等離子 FIB 應(yīng)用領(lǐng)域,提升了大體積樣本微加工和 3D 微量分析的能力,并且縮短了加工時間。

 

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