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TORAY東麗氧氣濃度計MS-500

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產品簡介

TORAY東麗氧氣濃度計MS-500
1.最多可以同時測量8個點
2.可以從ppm級別到廣泛濃度表示。
3.安裝在半導體制造裝置、真空裝置等上
4.傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
5.對高耐久的傳感器施以特殊涂層，進一步提高耐久性

詳細介紹

氧化鋯氧濃度計測量原理

對兩面進行電極加工的氧化鋯陶瓷具有在高溫下，在一個電極部將氧分子離子化，在另一個電極部將氧離子還原為氧分子的性質。這種性質被稱為離子電導，氧化鋯和陶瓷兩側的氧濃度差越大，離子電導的程度就越大。在此期間，兩個電極之間進行電子的傳遞，離子電導的程度(即氧化鋯和陶瓷兩側的氧濃度之差)可以作為兩個電極之間的電動勢大小來提取。這個電動勢如下圖所示，根據(jù)涅倫斯特的理論公式得到了穩(wěn)定的數(shù)值，因此東麗氧化鋯傳感器能夠顯示穩(wěn)定可靠的氧濃度值。

QQ截圖20240118144441.png

氧化鋯氧濃度計使用上的一般注意事項

氧化鋯氧濃度儀在約700℃的高溫下工作。因此在以下情況下有可能無法測量并影響傳感器壽命。

因為氧氣濃度計內部有電爐，所以設置氣氛在防爆地區(qū)不能使用。
可燃性氣體(例如氫氣、甲烷、酒精、一氧化碳等)混入氧氣計內部時，會引起燃燒反應，造成測量誤差。
有機硅(用于密封材料等)會引起傳感器老化。(作為引起傳感器劣化的原因，這是非常多的原因之一。
鹵素類(特別是氯)會引起傳感器不良。
像一氧化碳這樣熱量高的物質斷斷續(xù)續(xù)地混入的話，受到熱記錄引起傳感器不良。
如果混入大量Nox、Sox等腐蝕性氣體，就會引起傳感器不良。
氟利昂氣體在高溫下發(fā)生分離反應，有可能引起傳感器劣化。
水滴、塵埃、霧是傳感器損壞、短壽命和誤差的原因。

QQ截圖20240118144113.png

氧氣濃度計MS-500

最多可以同時測量8個點
可以從ppm級別到廣泛濃度表示。
安裝在半導體制造裝置、真空裝置等上
傳感器為直插式(真空NW法蘭16/25/40)
對高耐久的傳感器施以特殊涂層，進一步提高耐久性

TORAY東麗氧氣濃度計MS-500

MS-500 機器仕様

測定原理			ジルコニア濃淡電池式
形狀			分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式）
表示方式			デジタル4桁表示(濃度表示)
測定レンジ			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20～10-0atm 自動レンジ
繰返性			±0.5%FS以內 0-1%レンジ以上 ±1%FS以內または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満 0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外
測定點數(shù)			1～8
サンプルガス條件	圧力		10-3～200KPa（絶対圧）
	流量		0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散狀態(tài)の測定)
	濕度		露點が周囲溫度以下
	溫度		0～100℃
	その他		腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと
比較ガス			大気
記録計出力			伝送出力のみ
伝送出力			RS-232C
警報出力			なし
ウォームアップ時間			6分以內
寸法	MS-500(コントローラ)		92(W)×44(H)×120(D)　(突起部含まず)
	MS-510(変換機)		100(W)×40(H)×88(D)　(突起部含まず)
	センサユニット	SD16NW	全長100mm(センシング部Φ11×39,胴體部Φ40×51)
		SD25NW	全長100mm(センシング部Φ11×42,胴體部Φ40×48)
		SD40NW	全長100mm(センシング部Φ11×41,胴體部Φ40×49)
質量	MS-500(コントローラ)		約0.6Kg
	MS-510(変換器)		約0.5kｇ
	センサユニット	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部接続			真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか
使用電源			24VDC±10%