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日本英福康 UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀

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日本英福康 UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀，通過(guò)儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測(cè)部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了最加的性價(jià)比。它提供*的 10-12 mbar·l/s 檢測(cè)極限，具備合理的短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)。

詳細(xì)介紹

日本英福康 UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀

日本英?？?UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀

ULTRATEST™ 傳感器技

工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測(cè)的“干式"標(biāo)準(zhǔn)

INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟(jì)型氦氣真空泄漏檢測(cè)的工認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)

通過(guò)儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測(cè)部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了最加的性價(jià)比。它提供*的 10-12 mbar·l/s 檢測(cè)極限，具備合理的短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)。緊湊的設(shè)計(jì)提供了高度的機(jī)動(dòng)性，方便進(jìn)入空間有限的維修區(qū)域?？蛇x的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進(jìn)行泄漏測(cè)試。

所有特性都使您能夠縮短泄漏測(cè)試工作的時(shí)間，同時(shí)確?？梢越?jīng)濟(jì)實(shí)惠地檢測(cè)出所有泄漏。

日本英?？?UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀

好處

·通過(guò)縮短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間加快泄漏檢測(cè)工作

·通過(guò)使用可選的背景抑制(lzero)，避免需要進(jìn)行多次泄漏測(cè)試。

·通過(guò)緊湊的設(shè)計(jì)方便進(jìn)入空間有限的維護(hù)區(qū)域

·通過(guò)耐用的兩個(gè)熱絲離子源(三年保修)和逆流式真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)低擁有成本(TCO)

·通過(guò)可旋轉(zhuǎn)顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠(yuǎn)程控制降低應(yīng)用難度

·通過(guò)內(nèi)置泄漏測(cè)試和自動(dòng)校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)低成本維護(hù)

典型應(yīng)用

對(duì)清潔度要求嚴(yán)苛的工業(yè)真空設(shè)備制造

在將真空組件或子組件安裝到現(xiàn)有工具中之前

真空工具的維護(hù)工作，無(wú)論是否有泵的支持

工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

半導(dǎo)體、平板顯示器或太陽(yáng)能電池制造

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