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1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2024-04-01 12:40:09瀏覽次數(shù)：125次

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管式爐

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合肥科晶材料技術(shù)有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)： OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 產(chǎn)品概述： OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等離子增強(qiáng)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)......

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱

? 1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE （2019.11.27—科晶實(shí)驗(yàn)室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示

展示

30ml粉料

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性；

? 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控；

? 爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管。

工作電源

? 輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz

? 總功率：<>

加熱爐參數(shù)

? 溫度：1100℃（<>

? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 工作電壓：110V；

? 額定功率：1.5KW；

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm。

OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE 1.png

更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動(dòng)匹配	自動(dòng)匹配	手動(dòng)匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
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