氮化硅 ■氮化硅分子式為Si3N4,是一種重要的結(jié)構(gòu)陶瓷材料。 ■它是一種超硬物質(zhì),本身具有潤滑性,并且耐磨損; ■涂噴在坩堝表面,在加熱作用下,使液態(tài)氮化硅均勻的吸附坩堝表面,形成粉狀涂層, ■涂層目的是保護石英坩堝在高溫下石英坩堝與硅隔離,使液態(tài)硅不與石英坩堝反應(yīng),而使石英坩堝破裂,及冷確后zui終保證硅碇脫膜完整性。 ■技術(shù)指標 Items | Value | Items | Value | Spefice Surface Area(m2/g) | 9.8-13 | Green Density(g/cm3) | 1.7-1.9 | N(wt%) | >38.0 | Fe(wt%) | <0.008 | O(wt%) | <1.5 | Ca(wt%) | <0.01 | C(wt%) | <0.2 | Al(wt%) | <0.08 | Na(wt%) | <0.001 | Ni(wt%) | <0.001 | Mo(wt%) | <0.001 | Mg(wt%) | <0.001 | Cr(wt%) | <0.001 | Co(wt%) | <0.001 | K(wt%) | <0.001 | Mn(wt%) | <0.001 | Partical Size(lazer)D90(μm) | 1.1-1.5 | Partical Size(lazer)D50(μm) | 0.5-0.7 | Partical Size(lazer)D10(μm) | 0.2-0.4 | | | | |
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