STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)特點(diǎn)：適用于8"12"晶圓操作簡(jiǎn)便STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)性能：晶圓收益≥99.9%撕膜質(zhì)量無(wú)裂片每小時(shí)產(chǎn)能≥80片晶圓更換產(chǎn)品時(shí)間≤5分鐘STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)規(guī)格參數(shù)：晶圓尺寸8"12"晶圓厚度150~750微米晶圓種類(lèi)硅、砷化鎵

詳細(xì)介紹

STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)特點(diǎn)：

適用于8" &12"晶圓

操作簡(jiǎn)便

STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)性能：

晶圓收益	≥99.9%
撕膜質(zhì)量	無(wú)裂片
每小時(shí)產(chǎn)能	≥ 80片晶圓
更換產(chǎn)品時(shí)間	≤ 5分鐘

STK-5150高級(jí)半自動(dòng)晶圓撕膜機(jī)規(guī)格參數(shù)：

晶圓尺寸	8" &12"晶圓
厚度	150 ~750微米
晶圓種類(lèi)	硅、砷化鎵；平邊或V型缺口晶圓
撕膠膜種類(lèi)	撕膜膠帶寬度：100~150毫米長(zhǎng)度：100米
撕膜角度	<45度，并且在 5°~45°可調(diào)節(jié)
撕膜溫度	室溫到100 ℃范圍可調(diào)，控溫精度+/-3℃
晶圓臺(tái)盤(pán)	通用防靜電特氟隆涂層接觸式金屬臺(tái)盤(pán) 帶可控加熱功能，溫度可達(dá)100℃ 臺(tái)盤(pán)帶吸真空功能
裝卸方式	晶圓手動(dòng)放置與取出
防靜電控制	離子風(fēng)扇
晶圓定位	彈簧銷(xiāo)釘定位
控制單元	基于PLC 控制，并配有5.7"觸摸屏
驅(qū)動(dòng)單元	伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
安全保護(hù)	配置緊急停機(jī)按鈕
電源電壓	單相交流電220V，10A
壓縮空氣	5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘80升/分鐘
機(jī)器外殼	白色噴塑金屬外殼
機(jī)器指示	三色燈塔顯示機(jī)臺(tái)工作狀態(tài)
體積	950毫米(寬)x1500毫米(深)x1800毫米(含燈塔高)
凈重	300公斤