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GSL-1100X-SPC-16M 小型磁控等離子濺射儀

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更新時間：2022-11-16 15:37:14瀏覽次數：200次

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產品簡介

GSL-1100X-SPC-16M是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀，采用雙旋片機械泵進行抽真空

詳細介紹

GSL-1100X-SPC-16M 是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀，采用雙旋片機械泵進行抽真空。一個磁控管與Peltier 冷卻裝置安裝在機器的頂部,，這將提供強有力的濺射能源，產生更好和更快的涂層，特別適用于金屬靶材,比如鋁，鋅和鎂. 儀器中包含一個金靶和真空系統(tǒng)。

技術參數

工作電壓	110V or 220V 50/60 Hz
輸出功率	< 2000W (包含真空泵)
輸出電壓	1600VDC 電流：50mA
樣品室	石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height
樣品載物臺	一個外徑50 mm 樣品載物臺濺射面積: 45 mm
配件包括	儀器中包含有一直聯式雙旋機械泵，可使反應腔體真空度達到10-2 torr 用一個KF25的波紋管把真空泵和儀器相連接可以選購一個循環(huán)水冷機16L/min
可通入氣體	通過針閥通入氬氣，能實現更好的等離子涂層
靶材	標配靶材：包含：Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs 可選靶材: Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)
外形尺寸	L360mm x W300mm x H380mm

重量	50 kg
質保期和質量認證	一年質保期，終身維護 CE Certified