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機(jī)械測試儀TriboLab CMP

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地廣州市

聯(lián)系方式:彭小姐查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-02-21 14:36:55瀏覽次數(shù):133次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:185條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:彭小姐

產(chǎn)品簡介

****小規(guī)模研發(fā)系統(tǒng)中的 ROI,此臺式工具可再現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,而無需在生產(chǎn)設(shè)備上停機(jī)。靈活參數(shù)控制,允許量身定制的測試,以加快材料開發(fā),并**優(yōu)化流程。專家應(yīng)用和支持,我們與大型安裝基地合作多年,為您的實(shí)驗(yàn)室提供專業(yè)知識。

詳細(xì)介紹

TriboLab CMP 利用其前身產(chǎn)品 (Bruker CP-4) 超過 20 年的 CMP 領(lǐng)域?qū)I(yè)知識,為業(yè)界*的 TriboLab 平臺帶來了一套完整的功能?;诒咎自O(shè)備產(chǎn)生的高精度和高可重復(fù)性使得在整個 CMP 流程中能夠進(jìn)行高效的鑒別、檢查和連續(xù)功能測試。TriboLab CMP 是市場上能夠提供廣泛的拋光壓力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、聲發(fā)射和表面溫度測量的工藝開發(fā)工具,可準(zhǔn)確、完整地描述 CMP 工藝和耗材。


用于 CMP 的小型研發(fā)規(guī)模專業(yè)系統(tǒng)

布魯克的TriboLab CMP工藝和材料表征系統(tǒng)是專為晶圓拋光工藝而設(shè)計(jì),是具有可靠、靈活和高效的臺式設(shè)備。

  • 重現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件,無需在生產(chǎn)設(shè)備上停機(jī)
  • 提供****的測量可重復(fù)性和細(xì)節(jié)檢測
  • 允許在小樣品上進(jìn)行測試,比全晶圓測試節(jié)省大量成本


板載診斷系統(tǒng)可以更好地了解拋光過程

  • 比市場上任何其他系統(tǒng)提供更多的瞬態(tài)拋光過程的參數(shù)
  • 從接觸拋光盤開始直至整個測試過程都能收集數(shù)據(jù)
  • 通過更完整、更詳細(xì)的數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)早期流程開發(fā)決策


具有靈活的樣品類型、尺寸和安裝配置

  • 拋光任何平面材料,幾乎能使用任何修正盤,任何拋光液,和任何拋光墊
  • 輕松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圓
  • 可同時安裝多個樣品,測試更靈活


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