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堀場(chǎng)匯博隆質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

堀場(chǎng)匯博隆質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述本產(chǎn)品為熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量

詳細(xì)介紹

堀場(chǎng)匯博隆質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

本產(chǎn)品為熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應(yīng)氣流瞬時(shí)流量，所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測(cè)量和控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、可以任意角度安裝

2、良好的線性——多段線性補(bǔ)償

3、快速的響應(yīng)

4、電磁閥使用壽命≥100萬(wàn)次

5、對(duì)零點(diǎn)漂移有效的抑制

6、化的零配件供應(yīng) ——傳感器、分流器、精密元器件日本進(jìn)口

7、良好的選擇性

應(yīng)用領(lǐng)域

質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制，適用于各種氣體，精度高，零漂小，無(wú)需矯正可任意角度安裝。

基本參數(shù)

編號(hào)	項(xiàng)目	S48 28/HMT
1	流量規(guī)格	(100,150,200)L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	5%～99%
6	流量測(cè)量范圍	0～99%
7	響應(yīng)時(shí)間	2s（T98，設(shè)定值的±2% F.S.）
8	工作環(huán)境溫度	5℃～50℃
9	精度保證溫度	15℃～35℃
10	精度	±1.0%F.S.
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復(fù)性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	（100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa
14	耐壓	3MPa
15	泄漏率	1×10-8 Pa•m3/s （He）
16	接觸氣體材料	316L,PTFE,Viton氟橡膠
17	管路接頭	Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″
18	供電電源	±15VDC(±5%) +15V，＜100mA；-15V，＜200mA	+24VDC(寬電壓+11～+25V), ＜350mA(+24VDC供電時(shí))
19	設(shè)定信號(hào)	(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ	4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
20	流量輸出信號(hào)	(0～5)VDC 負(fù)載能力≤3mA
21	電氣接頭	D-SUB15,D-SUB9
22	重量(kg)	2.8