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光罩技術全自動二次元影像測量儀GM系列

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更新時間:2022-10-11 12:11:04瀏覽次數:176次

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產品簡介

光罩技術的GM超高精度影像式測量儀系列,為七海之光罩技術制造而成,此技術已獲美國、中國臺灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和創(chuàng)新....

詳細介紹

  • 主要特點
  • 『產品介紹』:

    光罩技術的GM超高精度影像式測量儀系列,為七海之光罩技術制造而成,此技術已獲美國、中國臺灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和創(chuàng)新。此類機種的精度幾乎不受機械誤差及阿貝誤差影響,尤其是X、Y軸行程在600mm × 500mm以上的機型,無論是XY軸向精度,還是XY平面坐標精度皆能在5μ內,其精準度比所有百萬價值內的德國、日本或其它國外進口的機器更精準。

    『參數』:

    重現(xiàn)性

    < 0.002mm

    臺面大小

    920*1018mm

    解析力標準

    0.001mm

    機臺重量

    750kg(包括機架)

    平面精度

    3+5L/1000µm

    影像放大倍率

    30x-225x

    示值精度(X、Y)

    3+5L/1000µm

    光學放大倍率

    0.7X-4.5X

    工作行程(X/Y/Z)

    700*600*100mm

    CCD

    專用彩色1/3英寸高解析520TV線

    外形尺寸(WxDxH)

    911*1350*1680mm

    可選配置

    旋轉燈、自動變倍鏡頭

    測量范圍(X*Y*Z)

    700*600*100mm

    工作行程

    700*600*100mm

    影像攝取系統(tǒng)

    sony芯片高解析彩色CCD

    測量理論

    晶元光罩坐標系統(tǒng)

    鏡頭 SEVEN OCEAN OPTICAL 自動變焦鏡頭 控制系統(tǒng) 全自動閉環(huán)控制系統(tǒng),日本松下PANASONIC伺服閉環(huán)控制系統(tǒng)
    工作臺結構

    00級花崗巖

    儀器結構

    00級花崗巖

    電源

    220V 50±5HZ

    功率

    1KW

    溫度范圍

    20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m

    濕度

    40%-70%

    震動

    < 30HZ

    工作臺承重

    3-5KG均布

    『:晶元光罩技術——多國發(fā)明』:

    • ◇ 純軟件工作平臺
    • ◇ 特殊光學技術無阿貝誤差
    • ◇ 非龍門式大型外架設計,動量降至,無剛性不足與運動遲滯之問題
    • ◇ 平面坐標測量
    • ◇ 不需要光柵尺、不需要編碼器


    『專業(yè)測量軟件』:

    • ※ CNC電動桌面(以軟件功能控制工作臺面,增加操作人員使用上及操作上的方便性)
    • ※ 有強大的環(huán)形、矩形陣列功能, 并能運行CNC自動測量。
    • ※ CNC自動測量編程:可以自定義控制表面光(上燈光源)、穿透光(底光)、各種角度光(旋轉燈)、CCD對比度來做CNC自動測量,避免了以前用底光做CNC的局限性。
    • ※ CNC自動測量編程:可以編程有高度差的測量,并且可以自定義客戶坐標進行編程與保存。
    • ※ 存檔照片輸入與實時影相中的實際工件進行對比功能
    • ※ 實時影像中可任意設置坐標原點(0,0)
    • ※ 輸出到AutoCAD圖形自動擺正功能
    • ※ 可輸入AutoCAD的標準工程圖進入實時影像中與實際工件對比功能
    • ※ 鳥瞰功能:可檢視當前繪圖位置
    • ※ 直接用鍵盤輸入圓及線段功能
    • ※ 直接畫線、圓、弧時,可以同時在AutoCAD及本測繪儀軟體中同時生成相應的圖形
    • ※ 強大的去毛刺功能,可以自動抓取線、圓、弧,減少了人為測量造成的誤差。
    • ※ 智慧型取R角功能
    • ※ 測量系統(tǒng):對 物體的長寬及 線、圓、弧、角度等進行測量與標注
    • ※ 繪圖系統(tǒng):畫線、圓、弧及線段之垂直線、水平。
    • ※ 亦可修改圖形,并將圖形輸入到AutoCAD
    • ※ 圖形輸入到AutoCAD中,可將當前影像拍下以JPEG格式儲存
    • ※ 自動定位,自動擺正
    • ※ DXF、DRL文件調入自動測量
    • ※ 線寬線距快速測量
    • ※ 自動對焦:電腦自動判斷影像的清晰面。

關鍵詞:芯片 工作臺
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