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更新時間:2023-08-16 17:51:35瀏覽次數(shù):224次
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7700s ICP-MS
專為要求超痕量檢測的高純半導(dǎo)體材料行業(yè)應(yīng)用而設(shè)計
7700s為是為半導(dǎo)體行業(yè)高純材料分析而設(shè)計的超凈化系統(tǒng),針對的是 ppt 級半導(dǎo)體行業(yè)超痕量元素。7700s額外配置有高效的樣品引入系統(tǒng),五路ICP離子源氣路管線和兩路碰撞反應(yīng)池氣體管線(ORS3)的反應(yīng)性氣體管路是7700s的標(biāo)準(zhǔn)配置)-為目標(biāo)元素和樣品類型均十分確定的半導(dǎo)體行業(yè)樣品提供的干擾消除能力。
7700s保留和升級了****的STS冷等離子體能力,為高純材料中極易電離的目標(biāo)元素的測定提供了行業(yè)中**的性能,并且STS冷等離子體仍是業(yè)內(nèi)的,可以用同一條件同時分析半導(dǎo)體行業(yè)要求的多種目標(biāo)元素的技術(shù)。
特點
配置新的第三代ORS3碰撞反應(yīng)池系統(tǒng),增強了氦模式的性能,消除干擾的能力比以前更好。
如去離子水、過氧化物,氫氟酸等材料中的Li、Na、K、Ca檢測提供行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)方法。
為所有常用的的半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)置了內(nèi)置式調(diào)諧和方法模板,包括碰撞反應(yīng)池模式以及冷等離子體模式,以確保獲得*高質(zhì)量的數(shù)據(jù)和*低的背景等效濃度(BECs)。
為所有常見的半導(dǎo)體樣品類型提供標(biāo)準(zhǔn)的操作規(guī)程,簡化方法建立的過程
較低的熱量輸出和降低排氣量,重新設(shè)計了冷卻空氣流路系統(tǒng)—這對超凈室安裝的儀器尤為重要。
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附件和軟件
集成樣品引入系統(tǒng)(ISIS-DS)
用于LC-ICP-MS分析的安捷倫LC接口
用于GC-ICP-MS分析的安捷倫GC接口
用于固體樣品直接分析的激光剝蝕
等離子體色譜軟件
ICP-MS MassHunter 軟件
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