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皮米精度位移激光干涉儀

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產(chǎn)品簡介

皮米精度位移激光（可試用）昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進(jìn)行量測的理想儀器，基于其的測量原理，相對距離的重復(fù)精度達(dá)到了的50皮米

詳細(xì)介紹

皮米精度位移激光（可試用）

昊量光電推出的皮米精度位移干涉測量儀quDIS是對納米級別的位移波動進(jìn)行量測的理想儀器，基于其的測量原理，相對距離的重復(fù)精度達(dá)到了的50皮米。quDIS可同時(shí)支持三個(gè)測量通道，使其可以適用于任意的多軸測量中。quDIS在原理上同樣采用激光干涉法，不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及飽和吸收氣室（GC）作為頻率校準(zhǔn)參考，通過激光波長調(diào)諧掃描，比較兩種不同的干涉圖樣，可以實(shí)現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的距離測量，基于這種測量方式，使得quDIS相對其他產(chǎn)品測量距離可以達(dá)到5M的同時(shí)保持高精度，且與信號對比度和強(qiáng)度無關(guān)，由于使用整個(gè)干涉模式來提取位移信息，因此不存在非線性誤差。此外，quDIS不僅可以獲得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面傾斜度等信息也可以從實(shí)時(shí)信號中提取得到。

的法珀腔+飽和吸收氣室構(gòu)造波長的線性變化的引入在此構(gòu)造下使得距離的測量成為可能！

干涉?zhèn)鞲蓄^

激光束的成型是通過不同的傳感器頭來實(shí)現(xiàn)的，根據(jù)反射目標(biāo)的不同，不同的應(yīng)用都需要不同的準(zhǔn)直、聚焦和光束剖面約束。quDIS的傳感器頭均基于設(shè)計(jì)。quDIS為常規(guī)情況下的使用提供標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直儀和定焦傳感頭，同時(shí)根據(jù)具體的需要以及惡劣環(huán)境下的應(yīng)用，也設(shè)計(jì)了響應(yīng)的特殊傳感頭。

用于測量高溫漂移物體的傳感器頭的設(shè)計(jì) 鎳鐵合金制造的低熱膨脹系數(shù)準(zhǔn)直頭

環(huán)境測試模塊（AMU）

環(huán)境測試模塊（AMU）設(shè)計(jì)用于補(bǔ)償由溫度T、壓力p和相對濕度rH波動引起的折射率變化，總體精度為1ppm。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

多維度多通道位移干涉器，操作簡單，即插即用
相對距離和距離測量
完善的全套系統(tǒng)配置
實(shí)時(shí)輸出數(shù)字化圖像
針對不同應(yīng)用提供各種傳感接頭及反射模塊組合解決方案
長期使用保證穩(wěn)定性
兼容真空與各種惡劣環(huán)境

優(yōu)勢：

距離高精度測量！
不存在非線性及周期性誤差！
相對距離信號穩(wěn)定性<>
工作距離大至5m（與傳感頭相關(guān)）
目標(biāo)速度＜3m/s
三個(gè)傳感接口，可實(shí)現(xiàn)多設(shè)備同步
探測器分辨率達(dá)到1pm

應(yīng)用領(lǐng)域：

極限環(huán)境下振動分析
緩慢漂移及熱膨脹檢測
精密設(shè)備位置控制
納米級位移測量
層狀結(jié)構(gòu)中間隙和邊緣的測量
位移和振動精度評估

皮米精度位置測量儀參數(shù)列表：

干涉儀		傳感頭
光源	DFB激光器	分辨率	1pm
功率	<>	相對距離穩(wěn)定性	<>
波長	1535nm	相對對距離精度	<0.2nm>
線寬	<>	帶寬	25kHz
傳感器通道	3	工作距離	20-5000mm
光纖輸入端口	FC Narrow-Key-Slot	目標(biāo)速度	<3m>
光纖輸入端口	Mating Sleeves	傳感頭	真空
同步	多臺設(shè)備同步	傳感頭