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日本愛發(fā)科ULVAC渦旋干式真空泵DIS-501維修保養(yǎng)特性：?雙繞式渦旋泵，含1根軌道螺旋和2根固定螺旋

詳細(xì)介紹

日本愛發(fā)科ULVAC渦旋干式真空泵 DIS-501維修保養(yǎng)

特性：

? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
? 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
? 低振動(dòng)低噪音。
? 維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制。

應(yīng)用：

? 分析設(shè)備
? 氣體回收系統(tǒng)
? 涂料設(shè)備

? TMP 前級(jí)泵
? 氦滲漏探測(cè)器
? 半導(dǎo)體制造工藝

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關(guān)鍵詞：干式真空泵真空泵

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