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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出品貿(mào)易有限公司


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小型PECVD管式爐系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304（大學(xué)城辦事處)查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-02-28 09:32:28瀏覽次數(shù)：171次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：487條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304（大學(xué)城辦事處)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳情型號(hào)：OTF-1200X-50S-PE產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)（PECVD）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

型號(hào)：OTF-1200X-50S-PE

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)（PECVD）。該設(shè)備配有等離子射頻電源，開(kāi)啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng)，且設(shè)備性價(jià)較為理想。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE 

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 整套設(shè)備尺寸小巧；

? 可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量；

? 可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。

加熱爐參數(shù)

? 溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。


圖片1.jpg    溫控儀表.JPG

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-500W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-100W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

射頻頻率

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg

真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。


圖片5.jpg

產(chǎn)品尺寸和重量

? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H

? 凈重：75 kg 

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

關(guān)鍵詞：溫度控制器 真空泵

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