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1200℃三溫區(qū)HPCVD系

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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聯(lián)系方式:長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學(xué)城辦事處)查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-02-28 09:28:58瀏覽次數(shù):288次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:487條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學(xué)城辦事處)

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳情型號:OTF-1200X-III-HPCVD-SE產(chǎn)品概述:OTF-1200X-III-HPCVD-SE是一款HPCVD(物理/化學(xué)混合氣相沉積)系統(tǒng),帶有的原料推進系統(tǒng)和1350℃原位蒸發(fā)槍

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

型號:OTF-1200X-III-HPCVD-SE

產(chǎn)品概述:OTF-1200X-III-HPCVD-SE是一款HPCVD(物理/化學(xué)混合氣相沉積)系統(tǒng),帶有的原料推進系統(tǒng)和1350℃原位蒸發(fā)槍。原料推進系統(tǒng)和同時/依次將3種反應(yīng)原料推入到爐管中(可設(shè)定推入位置和推進速度),以達(dá)到適合的蒸發(fā)溫度。溫度可控型原位蒸發(fā)槍,溫度可達(dá)1350℃,也可多固體原料原位蒸發(fā)。所以此系統(tǒng)可對4種固體或液體源供蒸發(fā)。此設(shè)備適合各種HPCVD實驗,特別適用于制備多層二維晶體材料。操作面板為PLC觸摸屏,用戶可設(shè)置進料速度,進料位置及實時監(jiān)測蒸發(fā)原料的溫度。


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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
爐體結(jié)構(gòu)

的原料推進系統(tǒng)可在真空或氣氛保護環(huán)境下同時/依次推進3種原料進入到管式爐中(并可實時監(jiān)測其溫度),溫度可控型原位蒸發(fā)槍,溫度可達(dá)1350℃,適合用HPCVD法生長多層膜

·爐體為三溫區(qū)開啟式管式爐,由三個獨立的溫控系統(tǒng)控制每個溫區(qū),其控溫精度可達(dá)±0.1

·雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

·采用氧化鋁纖維作為爐膛材料,表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,和延長使用壽命

·爐體開啟式設(shè)計,便于跟換爐管,并且?guī)в虚_啟斷電功能,保證操作安全

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電源要求

·單相208~240VAC

·功率9KW(需60A的空氣開關(guān))


加熱區(qū)

·三個加熱區(qū),每個加熱區(qū)長度:300mm

·總加熱區(qū)長度:900mm


恒溫區(qū)

恒溫區(qū)長度:625mm(±2℃)

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(三個溫區(qū)設(shè)置同樣的加熱溫度)


工作溫度

·工作溫度:1200℃(<1hr

·連續(xù)工作溫度:100~1100


升溫速率

10°C /min


原料推進系統(tǒng)&蒸發(fā)槍

的原料推進系統(tǒng)可在真空或氣氛保護環(huán)境下同時/依次推進3種原料進入到管式爐中(并可實時監(jiān)測其溫度),利用推送系統(tǒng)可將3個不同蒸發(fā)源同時/依次送入3個獨立的小石英管中,精確地找到所需溫度,保證實驗精確性和重復(fù)性

·蒸發(fā)槍:采用鎢線圈加熱,氧化鋁坩堝裝料,其溫度可達(dá)1350℃,控溫精度±1

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坩堝移動控制

·坩堝的移動速度和移動距離通過步進電機驅(qū)動,可設(shè)定控制

·移動距離: 530mm (精度1mm


沉積樣品臺

·特殊設(shè)計樣品臺,帶有手動遮擋板,放置原料交替試導(dǎo)致所制備樣品污染

·可手動調(diào)節(jié)樣品臺在爐管中的位置

·可選擇水平樣品臺,或傾斜式樣品臺

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溫度控制系統(tǒng)

·三個溫區(qū)由三個獨立的溫控系統(tǒng)控制,采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序

·歐陸儀表控制,控溫精度可達(dá)±0.1

·帶有超溫和斷偶報警

·三個K型熱偶(每個溫區(qū)1個)

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管式爐配置

·爐管,采用高純石英管,尺寸為Φ130(外)mm×Φ122(內(nèi))mm×1200mm(長)

·配有2個氧化鋁管堵,防止熱輻射(加熱前管堵必須放入到爐管內(nèi))

·可選購石英管堵,保證反應(yīng)環(huán)境潔凈

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真空計

·防腐型復(fù)合真空計(皮拉尼和隔膜規(guī))

·測量范圍:3.8E-5 ~ 1125 torr


真空泵&真空度

·真空度:10E-2 torr(采用機械泵),10-E5 torr(采用分子泵)

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可在本公司選用各種真空泵


氣體流量控制系統(tǒng)

配有4通道氣體流量控制系統(tǒng),采用觸摸屏設(shè)定參數(shù)

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循環(huán)水冷機

設(shè)備采用水冷不銹鋼密封法蘭,所以配有循環(huán)水冷機

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設(shè)備尺寸

4000×600×1500m

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質(zhì)量認(rèn)證

·CE認(rèn)證

·所有電器元件(≧24V)都通過了UL/MET/CSA認(rèn)證

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免責(zé)聲明

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關(guān)鍵詞:步進電機 真空計 真空泵

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