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2通道ALD控制單元

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更新時(shí)間：2023-02-28 09:11:04瀏覽次數(shù)：197次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳情型號(hào)：ALD-GSL-4產(chǎn)品概述：ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系統(tǒng)，包含4通道質(zhì)子流量計(jì)進(jìn)行氣體的混合和輸送，可與本公司任意管式爐或腔體進(jìn)行DIY，組建一套ALD系統(tǒng)，用于薄膜的制備或者粉末表面的包覆復(fù)合

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

型號(hào)：ALD-GSL-4

產(chǎn)品概述：ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系統(tǒng)，包含4通道質(zhì)子流量計(jì)進(jìn)行氣體的混合和輸送，可與本公司任意管式爐或腔體進(jìn)行DIY，組建一套ALD系統(tǒng)，用于薄膜的制備或者粉末表面的包覆復(fù)合。LCD觸摸屏可方便的對(duì)每一通道ALD的脈沖時(shí)間以及氣體流量進(jìn)行控制。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

工作電壓&功率	AC220V 單相 50/60Hz 100W
PLC觸摸屏	l 通過(guò)6″PLC觸摸屏對(duì)ALD蒸汽脈沖時(shí)間、氣體流量等參數(shù)進(jìn)行設(shè)定控制 l 可控制2個(gè)ALD閥門(mén)的脈沖時(shí)間以及循環(huán)次數(shù)（毫秒級(jí)） l 可控制4通道的氣體流量（4通道質(zhì)子流量計(jì)，精度±0.2%F.S） l 真空壓力顯示 l 請(qǐng)點(diǎn)擊左圖查看控制界面 l RS485 通訊接口和PC軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
ALD進(jìn)氣閥	l 對(duì)于兩種前驅(qū)體氣體的沉積，需2個(gè)ALD進(jìn)氣閥進(jìn)行控制（不包含在設(shè)備中） l 客戶可使用自己已有的ALD閥或點(diǎn)擊下圖選購(gòu)本公司ALD閥
流量控制	l 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可用于4路氣體的通入和混合流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM l 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用 l 工作溫度：5~45oC 耐壓:3MPa l 精度: ±1.5% FS 線性: ±1%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
通氣管道	l 內(nèi)置不銹鋼混氣罐 l 內(nèi)部連接管道為1/4"不銹鋼管 l 外部通氣管道為1/4"聚四氟管
混氣罐	Φ80x120mm
截止閥及配件	316不銹鋼針閥 Φ1/4" 不銹鋼管
尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
質(zhì)保期	一年保質(zhì)期，終生維護(hù)
可選配件	l 可選購(gòu)氣液混合裝置用于蒸汽的通入，點(diǎn)擊下圖查看詳情 l 客戶可另外付費(fèi)由本公司對(duì)ALD控制單元以及管式爐系統(tǒng)進(jìn)行連接組裝。