采用的氣流形式為部高效過濾器送風口送風，房間側(cè)下百葉風口回風。其氣流流程為：新回風混合!中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-高效過濾器送風口-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風口-回風管-新回風混合。
5、洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為7 級，采用新風機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+風機過濾器單元（FFU)）的空調(diào)方式。采用的氣流形式為部FFU送風，房間側(cè)下百葉風口回風。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH4+、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機組（AHU）內(nèi)增設化學過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風混合-化學過濾器（NH4+）-化學過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風口-回風管-新回風混合。新風接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風組。
6、除CP室外的潔凈室所需新風采用2臺新風機組（MAU-1、2）集中處理，新風集中處理后送至各循環(huán)機組（AHU）。其氣流流程為：新風入口-粗效過濾器-中效過濾器-預加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風機-送風管-各循環(huán)空調(diào)機組（AHU）。
7、CP室、ML室、洗凈室用酸量相對較多，CP室、ML室內(nèi)的高效過濾器送風口的擴散板需采用不銹鋼板制作，洗凈室內(nèi)的FFU的網(wǎng)板需采用不銹鋼板制作。
8、另需注意，品質(zhì)檢查室根據(jù)工藝要求需采用黑色墻板、黑色板，相應采用黑色回風口，F(xiàn)FU的網(wǎng)板需采用黑色網(wǎng)板。
3、凈化系統(tǒng)的空調(diào)自動控制
新風機組（MAU-1、2）采用變頻風機，由總送風管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入每個風量及正壓控制循環(huán)機組（AHU）的新風管上均設置電動調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設備的排風量的變化而變化，電動調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風管上的靜壓變化，根據(jù)其設定值調(diào)節(jié)AHU-1、2的風機頻率，以達到控制目的。
凈化生產(chǎn)車間的濕度是由新風機組MAU-1、2來保證，控制新風機組送風狀態(tài)點，根據(jù)送風狀態(tài)設定值來調(diào)節(jié)干蒸汽加濕器的電動執(zhí)行機構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度。露點溫度DPT由檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)整定。
凈化生產(chǎn)車間的溫度是由循環(huán)機組AHU來保證的，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)表冷器回水管上的電動二通閥的開度。
3.2 供冷系統(tǒng)控制
冷凍水系統(tǒng)方面采用一級泵，用負荷控制的方法來確定冷水機組及相應水泵、冷卻塔的開啟臺數(shù)。根據(jù)設定供、回水壓差來自動控制供、回水主管之間壓差流量旁通閥。
