BX-G103系列是針對新穎研發(fā)和質量控制領域推出的型多入射角激光橢偏儀。 BX-G103系列可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量?？捎糜跍y量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k；也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k；亦可用于實時測量納米薄膜動態(tài)生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。多入射角度設計實現(xiàn)了納米薄膜的正規(guī)厚度測量。

詳細介紹

激光測量儀橢偏儀光源橢偏儀

產品用途：

BX-G103系列是針對研發(fā)和質量控制領域推出的型多入射角激光橢偏儀。 BX-G103系列可在單入射角度或多入射角度下對樣品進行準確測量。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k；也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k；亦可用于實時測量納米薄膜動態(tài)生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。多入射角度設計實現(xiàn)了納米薄膜的厚度測量。

儀器特點：

l 測量方法：Delta測量范圍0-360o，無測量死角問題（即使在0o或180o附近時也具有的準確度），也可消除粗糙表面引起的消偏振效應對結果的影響

l 原子層量級的靈敏度和準確度：新穎的采樣方法、高穩(wěn)定的核心器件、高質量的制造工藝實現(xiàn)并保證了的準確度和穩(wěn)定性

l 百毫秒量級的快速測量：在保證精度和準確度的同時，可在幾百毫秒內快速完成一次測量，可滿足快速多點檢測和批量檢測需求

l 方便的樣品對準：視頻式自準直樣品方位精密對準系統(tǒng)，精度高、操作方便

l 簡單方便的儀器操作：一鍵操作即可完成復雜的樣品測量和分析；按照質控要求進行數(shù)據(jù)多種導出；豐富的模型庫和材料庫方便用戶的操作；管理員/操作員不同的模式，保證儀器安全

技術參數(shù)：

激光測量儀橢偏儀光源橢偏儀