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深圳市中圖儀器股份有限公司


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單頻激光干涉儀中圖儀器(chotest)SJ6000

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產(chǎn)品型號SJ6000

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更新時間:2023-04-17 15:23:42瀏覽次數(shù):294次

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產(chǎn)品簡介

激光干涉儀是實現(xiàn)大量程納米測量的重要方法,由于激光的高方向性、高單色性和高相干性特點,使得激光干涉儀具有普通光源所無法替代的優(yōu)勢

詳細介紹

激光干涉儀是實現(xiàn)大量程納米測量的重要方法,由于激光的高方向性、高單色性和高相干性特點,使得激光干涉儀具有普通光源所無法替代的優(yōu)勢。隨著精密測量的性能需求愈來愈高,具有測量精度高、測量范圍大及對待測振動表面無干擾等特點的激光干涉測量技術(shù)已廣泛應(yīng)用于精密測量和計量領(lǐng)域。
 
激光干涉儀原理

單頻激光干涉儀是干涉位移精密測量的重要方法,具有大量程、納米級分辨率、波長溯源等典型優(yōu)點,但因為單頻激光干涉儀是直流測量系統(tǒng),必然具有直流光平和電平零點漂移的弊端。針對這種狀況,中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)出單頻激光干涉儀 ——SJ6000激光干涉儀。
 
SJ6000激光干涉儀

SJ6000激光干涉儀作為單頻激光干涉儀,是在一般單頻激光干涉儀基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,也叫雙頻激光干涉儀。是用頻率為幾兆赫的交流信號作為干涉信號,這樣當可動反射鏡移動的時候,干涉信號根據(jù)多普勒效應(yīng)原理,原有的交流信號頻率增加或減少了A/,結(jié)果依然是一個交流信號。這樣,即使光強大幅度衰減,G仍可得到合適的電信號。同時不僅能進行動態(tài)高速測量,還能組合相應(yīng)的功能模塊元件測量振動幅度、角度、線速度、平面度等,可以棄普通車間進行應(yīng)用,環(huán)境適應(yīng)能力強。
 
數(shù)控機床精度校準
 
測量機床回轉(zhuǎn)軸精度
 
測量機床直線度

產(chǎn)品參數(shù)
穩(wěn)頻方式:雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力:1nm
動態(tài)采集頻率:50KHz
預(yù)熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點:應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便

產(chǎn)品功能特點
1)功能廣
  • 可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
  • 具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
  • 可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
  • 可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;
  • 可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量;
  • 支持手動或自動進行環(huán)境補償。
2)精度高
  • 采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;
  • 干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠;
  • 采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
3)軟件強
  • 簡潔化的記錄管理;
  • 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/li>
  • 豐富的應(yīng)用功能模塊;
  • 友好的人機界面;
  • 支持中文、英文和俄文界面;
  • 支持企業(yè)專屬模板定制。

配件與證書

中圖儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),現(xiàn)有員工200余人,集光、機、電、信息技術(shù)于一體的*技術(shù)團隊,致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計量質(zhì)量檢測機構(gòu)、汽車、機械制造、半導體加工、3C電子等行業(yè),在精密測量、計量檢測領(lǐng)域的技術(shù)進步做出了應(yīng)有的貢獻。未來,中圖儀器仍將繼續(xù)專注于未來!


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