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臺階儀探針式輪廓儀膜厚儀 P7

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更新時間：2022-11-02 15:33:30瀏覽次數(shù)：290次

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產(chǎn)品簡介

臺階儀探針式輪廓儀膜厚儀 P7

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。它保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有業(yè)界的測量重復(fù)性。UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制，良好的線性，和精準(zhǔn)的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學(xué)、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應(yīng)用場景。

主要技術(shù)參數(shù)

1.重復(fù)性：≤4A （0.01%）
2.垂直分辨率：0.01A
3.水平分辨率（X): 0.025um
4.水平分辨率（Y):0.5um
5.采樣率(點)：4,000,000
6.垂直線性度：±0.5%＞2000A 10A ≤ 2000
7.針壓范圍：0.03~50mg
8.量測長度：150mm（無需拼接）
9.掃描速度：2um/s-25mm/s

產(chǎn)品介紹：

P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。它保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有業(yè)界的測量重復(fù)性。UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制，良好的線性，和精準(zhǔn)的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學(xué)、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應(yīng)用場景。

主要技術(shù)參數(shù)：

重復(fù)性：≤4A （0.01%）
垂直分辨率：0.01A
水平分辨率（X): 0.025um
水平分辨率（Y):0.5um
采樣率(點)：4,000,000
垂直線性度： ±0.5%＞2000A
10A ≤ 2000

針壓范圍：0.03~50mg
量測長度：150mm（無需拼接）
掃描速度：2um/s-25mm/s產(chǎn)品介紹：

P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。 P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。它保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有業(yè)界的測量重復(fù)性。UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制，良好的線性，和精準(zhǔn)的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學(xué)、研發(fā)、生產(chǎn)等不同應(yīng)用場景。