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帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃，并通過(guò)調(diào)整三個(gè)溫區(qū)而建立不同梯度的熱場(chǎng)，可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品型號(hào)	帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、雙層殼體，配有冷系統(tǒng)，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。 2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。 3、一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數(shù)字真空計(jì)。 4、采用三個(gè)獨(dú)立PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V 50/60Hz 7KW （40A保險(xiǎn)絲） 2、石英管：外徑Ø125mm，內(nèi)徑120mm，長(zhǎng)1400mm，帶有一對(duì)真空密封法蘭 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 4、加熱區(qū)域：溫區(qū)I長(zhǎng)229mm，溫區(qū)II長(zhǎng)457mm，溫區(qū)III長(zhǎng)229mm，總長(zhǎng)915mm 5、恒溫區(qū)域：三個(gè)溫區(qū)為同一溫度時(shí)為625mm，溫區(qū)II為110mm 6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、升降溫速率：20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：K型 10、浮子流量計(jì)：3個(gè)，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min 11、數(shù)字真空計(jì)：10^-4torr
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：管式爐1080mm×430mm×600mm；重量：70kg