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深圳維爾克斯光電有限公司


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525nm倍頻飛秒激光器

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更新時間:2024-02-28 14:26:40瀏覽次數(shù):92次

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產(chǎn)品簡介

Lithium Six525固態(tài)倍頻飛秒激光器具有的穩(wěn)定性,非常適合科學(xué)和工業(yè)項目的使用條件,其旨在實現(xiàn)分辨率遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過衍射極限的目標(biāo),代表了微加工領(lǐng)域的水平。中心波長525nm,脈寬150fs。

詳細(xì)介紹

LituiumSix 525高功率固態(tài)倍頻激光器,高重復(fù)頻率,高功率固體激光器


飛秒激光脈沖持續(xù)的時間只有幾個飛秒,比利用電子學(xué)方法得到的短脈沖還要短幾千倍,所以其具有的瞬時功率,可達到百萬億瓦。尤其是當(dāng)光束聚焦到極小的空間區(qū)域內(nèi)時,電磁場的強度高于原子核對其周圍電子的作用力,可輕易將電子電離而脫離原子的束縛,切割材料的熱效應(yīng)小。

因分辨率與激發(fā)波長成正比,525 nm是一個合適的波長,以實現(xiàn)亞100 nm的特征尺寸。LithiumSix 525在復(fù)雜的三維微/納米結(jié)構(gòu)制造過程中,具有優(yōu)良的激光輸出穩(wěn)定性,以實現(xiàn)高分辨率和可靠的物質(zhì)結(jié)構(gòu)復(fù)制。

LithiumSix 525專為制造應(yīng)用而設(shè)計的固態(tài)倍頻飛秒綠色激光器,指向穩(wěn)定性和長期功率穩(wěn)定性,保證了微加工過程中實現(xiàn)高精度和可靠性。而其超短的脈沖(< 150 fs),平均功率高達5瓦,保證了多個并行制造平臺的運行,有助于生產(chǎn)成本的優(yōu)化。LithiumSix 525可以作為激光光刻飛秒激光器或雙光子聚合飛秒激光器。


LituiumSix 525固態(tài)倍頻飛秒激光器規(guī)格



中心波長

525±2.5 nm

脈沖持續(xù)時間

<150 fs

光譜形狀

高斯型

平均功率

1.5~5 W

脈沖能量

18.75~62.5 nJ

重復(fù)率

80 MHz?

光束質(zhì)量

M2<1.1

PER

>23 dB

振幅噪聲

<0.1% rms

預(yù)熱時間

<15 min

工作溫度

10-40

頭部尺寸

430×222×114 mm

頭部重量

10 kg



LituiumSix 525固態(tài)倍頻飛秒激光器特點:

-高平均功率

-穩(wěn)定的窄脈沖

-體積小,易攜帶

-無預(yù)熱時間


LituiumSix 525固態(tài)倍頻飛秒激光器應(yīng)用:

-飛秒激光光刻技術(shù)

-雙光子聚合

-諧波產(chǎn)生

LituiumSix 525固態(tài)倍頻飛秒激光器實物圖:



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