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更新時(shí)間:2022-08-25 14:42:52瀏覽次數(shù):255次
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硅(Si)靶材硅靶材簡(jiǎn)介:簡(jiǎn)單的說(shuō),靶材是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料
硅(Si)靶材
硅靶材簡(jiǎn)介:
簡(jiǎn)單的說(shuō),靶材是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。例如:蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。金屬材料濺射靶材是目前應(yīng)用的靶材。本公司提供的金屬靶材是通過(guò)簡(jiǎn)單熔煉成形、磁懸浮熔煉、熱等靜壓成型、冷等靜壓成型等不同工藝制備而成。產(chǎn)品純度好,密度高,晶粒均勻細(xì)致,使用壽命長(zhǎng)。
硅靶材參數(shù):
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