日本Horiba STEC SEC-E50氣體質量流量控制器

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更新時間：2023-05-26 19:15:16瀏覽次數(shù)：370次

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詳細介紹

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日本Horiba STEC SEC-E50氣體質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

日本Horiba STEC SEC-E50氣體質量流量控制器產(chǎn)品簡介：

所謂質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流體質量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在須對流量進行準確計測和控制的領域，質量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。

我們會努力按照原廠技術參數(shù)翻譯編輯，如技術參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準。

日本Horiba STEC SEC-E50氣體質量流量控制器技術參數(shù)：

型號SEC-(質量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF-(質量流量計)E40E50

適用氣體種類*1	非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質	SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號	非通電時　關閉
標準流量量程 (N2相應F.S.)	10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)	2?99% F.S.
流量測量范圍 (適于SEF系列)	0?99% F.S.
響應速度	1秒以內(T98)
流量精度	±1% F.S.
直線性	±0.5% F.S.
反復性	±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)	10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)	300kPa(G)以下
耐　壓	1MPa(G)以下
外部泄漏率	1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度	5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設定信號	0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S.
流量輸出信號	0?5VDC(很小負荷電阻2kΩ)
驅動電源	+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標準接頭*2	1/4SWL 類型