ZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器，結(jié)構(gòu)小巧，操作方便，可用于氣體流量的精確測量和控制，流量范圍0~100，200，300，500SCCM可選，可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設(shè)備等配套使用，直接數(shù)字設(shè)定流量，穩(wěn)定可靠，操作方便。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | 質(zhì)量流量控制器-ZF-MFC-1C |
產(chǎn)品特點 | 防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器，結(jié)構(gòu)小巧。 DC15V電壓驅(qū)動。 流量數(shù)顯設(shè)定顯示，穩(wěn)定可靠，操作方便。 流量范圍：0~100,200,300,500 SCCM可選。 配備RS485計算機(jī)接口，同時可輸出4~20mA信號，用于計算機(jī)與遠(yuǎn)程儀表的連接控制。 標(biāo)配N2氣標(biāo)定。 |
工作電源 | AC 220V，50/60Hz，7.5W 配備 AC 220V轉(zhuǎn)DC15V電源適配器。 |
流量范圍 | 0~100,200,300，500 SCCM四種規(guī)格可選，特殊規(guī)格可定制 |
材質(zhì) | 316不銹鋼閥體，耐腐蝕 |
準(zhǔn)確度 | ±2%FS |
控制精度 | ±1%FS（恒流） |
線性 | ±2%FS |
工作壓力差范圍 | 0.1~0.5MPa |
工作壓力 | 0.5MPa |
設(shè)定流量方式 | 鍵入式 |
進(jìn)出口閥門 | Φ6.35mm 卡套式接頭
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工作環(huán)境溫度 | -10~50℃ |
產(chǎn)品尺寸 | 168 L×30 W×132H mm |
產(chǎn)品重量 | 0.92Kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)。 |
使用注意事項 | ZF-MFC-1C可用于腐蝕性氣體的流量測量與控制，如NH3等。 出廠時采用氮氣（N2）標(biāo)定，如通入其他氣體時，需要對照說明書中不同氣體流量轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行流量換算。 注意工作差，使用時進(jìn)出氣兩端工作壓力差在0.15~0.5MPa范圍內(nèi)。
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