Tetra 575 LF-PC | 特殊設(shè)備
開關(guān)柜: 寬 1150 mm、高 1900 mm、深 1600 mm
腔室: 寬 600 mm、高 1200 mm、深 800 mm
腔室容積: 約575 升
氣體供給: 2 個(gè)通過 MFC 控制的氣體通道
發(fā)生器: 1 個(gè) (40 kHz)(可選:13.56 MHz 或 2.45 GHz)
部件支架: 22 層/(個(gè))產(chǎn)品支架(可變)
控制系統(tǒng): PC 控制系統(tǒng) (Windows)