Tetra 4900 LF-PC | 特殊設(shè)備
開關(guān)柜:寬 3000 mm、高 1800 mm、深 1500 mm
腔室:寬 2500 mm、高 1400 mm、深 1400 mm
處理幅寬:2000mm
卷軸直徑:127mm
卷軸外徑:500mm
腔室容積:約 4900升
氣體供給:通過 MFC 控制的 2 個(gè)氣體通道
發(fā)生器:1 個(gè) (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系統(tǒng):配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)