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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司

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三溫區(qū)1500℃ PECVD系 臭氧消毒機(jī)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時(shí)間:2022-11-02 09:21:42瀏覽次數(shù):240次

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產(chǎn)品詳情型號(hào):OTF-1500X-III-4CV-PE-SL產(chǎn)品概述:OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成
產(chǎn)品詳情

型號(hào):OTF-1500X-III-4CV-PE-SL

產(chǎn)品概述:OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于生長(zhǎng)納米線、石墨烯及薄膜材料領(lǐng)域。

免責(zé)聲明: 本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等)僅用于宣傳用途,僅供參考。由于更新不及時(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG可能會(huì)造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差,請(qǐng)勿復(fù)制或者截圖。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息及更多參數(shù),請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,請(qǐng)勿將此參數(shù)用于招標(biāo)文件或者合同,公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請(qǐng)您諒解。 如果您需要下載產(chǎn)品的電子版技術(shù)文檔,說(shuō)明書(在線閱覽),裝箱單,與售后安裝條件等文件,請(qǐng)點(diǎn)擊上方的附件下載模塊中選取。商城產(chǎn)品僅針對(duì)大陸地區(qū)客戶,購(gòu)買前請(qǐng)與工作人員溝通,以免給您帶來(lái)不便。
技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL (2019.11.14-科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>  4、配件妥善保管提示


產(chǎn)品特點(diǎn)

? 帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭,便于觀察等離子發(fā)光(圖1);

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控; 

? 此款設(shè)備可安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦(圖2、3);

? 此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表(圖4)。


產(chǎn)品特點(diǎn)圖1.JPG  產(chǎn)品特點(diǎn)圖2.jpg       產(chǎn)品特點(diǎn)圖3.PNG       圖片1.png



基本參數(shù)

? 工作溫度1500℃(<30min);連續(xù)使用溫度1400℃;

? 三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃,帶有超溫和斷偶保護(hù);

? 輸入電源: 208-240V,AC,單相;功率:6.6 KW;

? 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

? 注意:此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購(gòu)買前請(qǐng)與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。


圖片1.png      圖片2.png

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。


 

300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-500W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

0-100W可調(diào)

(穩(wěn)定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩(wěn)定性:±0.5%)

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

300W射頻電源.jpg

500W射頻電源.jpg

100W射頻電源.png



真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達(dá)10-2Torr。

低真空系統(tǒng).png


供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


四通道質(zhì)子圖1.jpg  四路質(zhì)子圖2.png


產(chǎn)品尺寸和重量

? 爐體尺寸:550mm L ′380mm W′520mm H

? 爐體下端移動(dòng)柜:1800mm L′600mm W′600mm H

? 凈重:100 kg

? 運(yùn)輸重量:550 kg

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片5.jpg


承諾

? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

1200℃微型二通道混氣 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

產(chǎn)品詳情型號(hào):OTF-1200X-S50-2F產(chǎn)品概述:OTF-120

1700℃單溫區(qū)三通道混 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

產(chǎn)品詳情型號(hào):GSL-1700X-F3LV產(chǎn)品概述:GSL-1700X

1200℃三溫區(qū)三通道混 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

產(chǎn)品詳情型號(hào):OTF-1200X-80-III-F3LV產(chǎn)品概述:OT

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