型號：OTF -1200X-4- C4LVS
產(chǎn)品概述：OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究。通過滑動爐子實現(xiàn)快速加熱和冷卻。請點擊下圖觀看爐子的工作原理。
| 名稱 | 1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統(tǒng) | ||
| 視頻 |
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| 爐體結(jié)構(gòu) | · 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有的溫度均勻性. · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命/ · 爐子底部的冷卻風扇保證了熱量正常對外釋放. 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。 | ||
| 電源 | 電源:208-240VAC, 50/60Hz, 單相, 2.5KW ( 20A 保險絲) | ||
| 加熱溫度 | 溫度: 1100°C | ||
| 加熱區(qū) | 加熱區(qū)長度: 440mm | ||
| 加熱和冷卻速度 | 的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關， 請點擊下圖可以看出的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
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| 石英管 | 外管: OD100 x ID 96 x 1400, mm | ||
| 真空法蘭 | · 一對 SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個高溫“O"型圈緊密密封可獲得高真空。 · 爐子底部裝有一對滑軌 · 爐子可以手動從一端滑向另一端，實現(xiàn)快速的加熱和冷卻。 · 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預熱，然后滑到放置樣品的位置。 · 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時將冷卻氣體通入樣品所在的位置。
左法蘭（點擊查看大圖） 右法蘭（點擊查看大圖）
· 極限真空度: 10^-2 torr (機械泵) · 可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點擊圖片查看詳細介紹）
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| 溫控儀 | · 溫控儀:帶超溫保護和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。 · 控溫儀表操作視頻 控溫精度: +/-1°C | ||
| 混氣系統(tǒng) | 4路精密質(zhì)子流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制. · MFC 1范圍: 0~100 sccm · MFC 2范圍: 0~200 sccm · MFC 3范圍: 0~200 sccm · MFC 4范圍: 0~500 sccm · 氣路: 4 路 · 流量精度: 0.2% · 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套 · 一個混氣罐. · 每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 · 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量. 請看下圖 MFC 面板(點擊放大)
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| 真空泵 | · 安裝在移動架底部的機械泵，真空度達 10-3 Torr. · 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 . · 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上. 選擇: 可以配分子泵，真空度達 10-5 Torr | ||
| 作為基片用的25um厚的銅箔 (選配） | 生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
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| 尺寸（mm) | 爐體: 550 x 380 x 520 | ||
| 凈重 | 300 lb | ||
| 保修期 | 一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O"型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)） | ||
| 認證 | | ||
| 使用注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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