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BRUKER DektakXT探針式表面輪廓儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

布魯克DektakXT探針式表面輪廓儀是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì),可以提供更高的重復(fù)性和分辨率,測(cè)量重復(fù)性可以達(dá)到5。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過(guò)去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的,更加鞏..

詳細(xì)介紹

布魯克DektakXT探針式表面輪廓儀是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì),可以提供更高的重復(fù)性和分辨率,測(cè)量重復(fù)性可以達(dá)到5Å。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過(guò)去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的,更加鞏固了其行業(yè)地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測(cè)量,通過(guò)在研究工作中的廣泛使用,DektakXT一定能夠做到功能更強(qiáng)大,操作更簡(jiǎn)易,檢測(cè)過(guò)程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT探針式表面輪廓儀的技術(shù)突破,使納米尺度的表面輪廓測(cè)量成為可能,從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件,半導(dǎo)體,電池,高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。 

 
DektakXT 設(shè)計(jì)
探針系統(tǒng)的評(píng)價(jià)體系受三個(gè)因素影響:能否重復(fù)測(cè)量,數(shù)據(jù)采集和分析速度快慢,操作的難易程度。這些因素直接影響了數(shù)據(jù)的質(zhì)量和操作效率。DektakXT利用全新結(jié)構(gòu)和和軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)可重復(fù)、時(shí)間短、易操作這三個(gè)必要因素,達(dá)到的儀器使用效果。
 
強(qiáng)化操作的可重復(fù)性 Delivering Repeatable Measurements
DektakXT在設(shè)計(jì)上的幾個(gè)提高,使其在測(cè)量臺(tái)階高度重復(fù)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn),臺(tái)階高度重復(fù)性可以到達(dá)5Å.使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計(jì)更堅(jiān)硬持久不易彎曲損壞,而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響。同時(shí),Bruker還對(duì)儀器的智能化電子器件進(jìn)行完善,提高其穩(wěn)定性,降低溫度變化對(duì)它的影響,并采用*的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會(huì)把可能引起誤差的噪音降到,DektakXT的系統(tǒng)因此可以更穩(wěn)定可靠的實(shí)現(xiàn)對(duì)高度小于10nm的臺(tái)階的掃描。Single-arch結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用,大大降低了掃描臺(tái)的噪音,增強(qiáng)了穩(wěn)定性,使其成為一個(gè)競(jìng)爭(zhēng)力的表面輪廓儀。
 
提高數(shù)據(jù)采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis

利用的直接掃描平臺(tái),DektakXT通過(guò)減少?gòu)牡玫皆紨?shù)據(jù)到扣除背底噪音所需要的時(shí)間,來(lái)提高掃描效率。這一改進(jìn),大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對(duì)于表面應(yīng)力長(zhǎng)程掃描的掃描速度。在保證質(zhì)量和重復(fù)性的前提下,可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker 64-Bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作系統(tǒng)Vision64,它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時(shí)的數(shù)據(jù)分析處理效率。Vision64還具有直觀的用戶(hù)界面,簡(jiǎn)化了實(shí)驗(yàn)操作設(shè)置,可以自動(dòng)完成多掃描模式,使很多枯燥繁復(fù)的實(shí)驗(yàn)操作變得更快速簡(jiǎn)潔。 

 
完善的操作和分析系統(tǒng) PerfectingOperationand Analysis

與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計(jì)相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上簡(jiǎn)潔的用戶(hù)界面,具備智能結(jié)構(gòu)、可視化的使用流程以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿(mǎn)足用戶(hù)的各種使用要求,快速簡(jiǎn)便的實(shí)現(xiàn)各種類(lèi)型數(shù)據(jù)的采集和分析。

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