黃生
日本ballwave微量水分計(jì)Falcon Trace 系列
超微量水分計(jì)“Falcon Trace"是使用球型SAW傳感器定量測(cè)量工業(yè)氣體和天然氣中極微量水分子的設(shè)備。
響應(yīng)速度極快,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)含水量變化,可測(cè)量含水量和背景氣體成分分析兩項(xiàng)。氣體中的水濃度可以精確測(cè)量到 1 ppb (1/10 億) 的水平。
球SAW傳感器測(cè)量原理
① 表面聲波(IDT;Inter Digital Transducer)產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道線上循環(huán),對(duì)所施加的敏感膜的微小變化作出
反應(yīng) ③ 反應(yīng)后表面聲波的信號(hào)變化 異形電極檢測(cè)
④ 通過多輪積分微小變化實(shí)現(xiàn)高靈敏度傳感。
案例研究/應(yīng)用
半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
(主要是前端工藝)電池制造商
及其材料制造商的制造過程工業(yè)氣體制造商
產(chǎn)品陣容
響應(yīng)速度極快,可在數(shù)秒內(nèi)監(jiān)測(cè)含水量變化,有助于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品良率和質(zhì)量。
無需重新配置每種背景氣體,當(dāng)天然氣等成分發(fā)生波動(dòng)時(shí),可以同時(shí)檢測(cè)。另一個(gè)主要優(yōu)點(diǎn)是傳感器材料是水晶球,這使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。
FT-700WT
實(shí)現(xiàn)“超"微量水分測(cè)量的系列機(jī)型
測(cè)量范圍從露點(diǎn) -110°C 到 -20°C
除露點(diǎn)測(cè)量外,背景氣體*成分(相當(dāng)于平均分子量)也以 % 水平檢測(cè)
* 背景氣體:要測(cè)量的氣體的含水量用這一裝置覆蓋從天然氣到高純度氣體
應(yīng)用示例
工業(yè)氣體制造過程/出貨時(shí)的質(zhì)量控制,半導(dǎo)體制造材料氣體純度控制
FT-400WT
可在中等范圍內(nèi)進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量的中等型號(hào)
在 1 秒內(nèi)測(cè)量從 -90°C 的露點(diǎn)開始的變化,非常適合實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)測(cè)量
也可以更改為設(shè)備內(nèi)置類型*
* 請(qǐng)聯(lián)系我們
應(yīng)用示例
一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制,電池制造過程的水分含量監(jiān)測(cè)
FT-300WT
在保持高速響應(yīng)性的同時(shí)強(qiáng)調(diào)便攜性的小型通用型號(hào)
1秒內(nèi)測(cè)量-70°C露點(diǎn)的變化,支持實(shí)時(shí)測(cè)量系統(tǒng)
輕巧緊湊,重量僅為 2 公斤,便于攜帶到目標(biāo)區(qū)域
即使在因電池驅(qū)動(dòng)而沒有商用電源的地方也可以使用
應(yīng)用示例
干燥箱、空間水分分布、一般氣體