黃生
日本tekhne純度測量露點儀MBW973-SF6
日本tekhne純度測量露點儀MBW973-SF6
- 特征
- 抽查
- SF6氣體露點管理
- 氣體變壓器/氣體斷路器
- 氣體絕緣開關(guān)柜
- 半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝
- SF6氣體回收再利用
- 主要用途
- SF6純度/變壓器/氣體斷路器的露點測量
觀點
- 環(huán)保測量儀
- SF6(六氟化硫)氣體是一種溫室氣體,其減排目標(biāo)是由《京都議定書》設(shè)定的,據(jù)說其溫室效應(yīng)約為每單位體積CO 2的23,400倍。SF6氣體在斷路器,變壓器,半導(dǎo)體工藝等中用作絕緣氣體,水分和SF6純度的測量對于保持絕緣度*。
另一方面,迄今為止,在日本,在測量時將其釋放到大氣中或不進(jìn)行釋放就以高成本進(jìn)行收集和分解的做法一直是日本的慣例。通過使用MBW973-SF6,可以將測得的SF6氣體返回到原始設(shè)備,而無需釋放到大氣中,并且可以將釋放到大氣中的氣體減少到零。 - 高精度測量
- 迄今為止,由于電容類型易于獲取,因此已被廣泛使用。另一方面,MBW973-SF6的露點和純度測量均采用高精度鏡型,因此可以分別以±0.5°C和0.5%的精度進(jìn)行高精度測量,響應(yīng)速度快且?guī)缀鯖]有隨著時間的流逝而惡化。通過使用該裝置,可以大大減少操作者的工作時間,并且可以容易地進(jìn)行可靠的測量。
- SO 2測量選項
- SF6氣體通過與水反應(yīng)來凈化HF氣體和SO 2氣體。MBW973-SF6可以測量0-100ppm或0-500ppm范圍內(nèi)的SO 2。該傳感器使用電化學(xué)電池,并且可以以滿量程的±2%的精度進(jìn)行測量。