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武漢賽斯特精密儀器有限公司


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Pluto-MD等離子去膠機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地武漢市

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更新時(shí)間:2020-07-22 00:49:40瀏覽次數(shù):610次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Pluto-MD等離子去膠機(jī)
產(chǎn)品介紹:
去膠工藝是微加工過(guò)程中一個(gè)重要的過(guò)程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對(duì)樣片是否有損傷等問(wèn)題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。PLUTO-MD使用性能出色的組件和軟件,可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。

詳細(xì)介紹

                               Pluto-MD等離子去膠機(jī)

產(chǎn)品介紹:

去膠工藝是微加工過(guò)程中一個(gè)重要的過(guò)程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對(duì)樣片是否有損傷等問(wèn)題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。PLUTO-MD使用性能出色的組件和軟件,可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。

  Pluto-MD等離子去膠機(jī)應(yīng)用范圍

該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。

 產(chǎn)品性能:

經(jīng)過(guò)真空檢漏316不銹腔體, 具備更好密封性能和保壓能力

5L腔體,雙層電極,離子密度可控

13.5EMHz射頻等離子源,兼容物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng),覆蓋全部樣品種類

 

創(chuàng)新可調(diào)電極,可以調(diào)整有效處理面積中等子體的能量密度

標(biāo)配兩路氣,適應(yīng)更多用戶需求。

 

電容觸摸屏,全數(shù)字控制。

全手動(dòng)控制和預(yù)設(shè)工藝參數(shù)自動(dòng)運(yùn)行

 

 

產(chǎn)品參數(shù):

 

 

 


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