高真空

真空可實現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學性能測量，一體成型，具有設計合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機械精度高等特點；根據(jù)測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到1000℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至77K/10K，；真空系統(tǒng)可選機械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達到10^-3Torr或10^-6Tor。

高低溫真空探針臺應用：

可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領域。

高低溫真空探針臺技術參數(shù)：

顯微鏡配置               顯微鏡/視頻顯微鏡

顯微鏡                      放大倍數(shù)50倍

視頻成像配置            成像系統(tǒng)，放大倍數(shù)300倍

樣品臺尺寸80mm     漏電電流<>

真空度            10-3Torr (10-6Torr或更高可選)

探針座配置               x/y/z行程40mm 精度 1μm

探針配置                  尺寸 0.5X30mm 材質 金

溫度范圍                  77K-570K  液氮制冷 10K-570K  液氦制冷     溫度zui高可到1000K

觀察窗尺寸              100mm

真空系統(tǒng)                  機械泵或分子泵

接口配置                  三同軸

測試源表                  連接各類測試源表，并可進行相應的軟件二次開發(fā)，加大系統(tǒng)整合性及測試穩(wěn)定性，支持RF測試