Verios 是 FEI 可靠的 XHR（分辨率）SEM 系列的第二代產(chǎn)品。在半導(dǎo)體制造和材料科學(xué)應(yīng)用中，它可在1至30 kV 范圍內(nèi)提供亞納米量級(jí)分辨率以及增強(qiáng)的對(duì)比度，滿(mǎn)足材料精密測(cè)量所需，同時(shí)又不會(huì)削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢(shì)。

Verios 的材料科學(xué)應(yīng)用

對(duì)材料科學(xué)家來(lái)說(shuō)，Verios 可以將亞納米表征拓展到當(dāng)下正在開(kāi)發(fā)的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對(duì)象和其他納米量級(jí)結(jié)構(gòu)），從

而讓他們獲得重要的新發(fā)現(xiàn)。無(wú)需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對(duì)比度圖像。Verios 可靈活用于各類(lèi)研究應(yīng)用，能夠容納全尺寸晶圓或

冶金樣本之類(lèi)的大樣本。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開(kāi)展精確的原型設(shè)計(jì)應(yīng)用，例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。